显示器件的蒸镀装置和蒸镀方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110296943.3

申请日：

2021-03-19

公开(公告)号：

CN113061847A

公开(公告)日：

2021-07-02

发明(设计)人：

王虎许瑾赵伟曹方义夏曾强王宏宇周小康蔡明瀚魏现鹤艾经伟张小庆

申请人：

申请人地址：

065500 河北省廊坊市固安新兴示范产业园区

IPC主分类号：

C23C1424

IPC分类号：

C23C1454

代理机构：

北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258

代理人：

尹红敏

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-07-20	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/24 申请日:20210319
2021-07-02	公开	公开

共 50 条

[1]

蒸镀装置及其蒸镀方法、显示器件制造设备 [P].

杜小波 .

中国专利 :CN107012433B ,2017-08-04

[2]

OLED显示器件的蒸镀方法、OLED显示器件及蒸镀设备 [P].

吕磊 ;

刘胜芳 ;

张义波 ;

张浩杰 .

中国专利 :CN109449301B ,2019-03-08

[3]

蒸镀装置和蒸镀方法 [P].

园田通 ;

林信广 ;

川户伸一 ;

井上智 .

中国专利 :CN102834541A ,2012-12-19

[4]

蒸镀装置、蒸镀方法、有机EL显示器和照明装置 [P].

江面知彦 ;

安达千波矢 ;

松波成行 .

中国专利 :CN103430624A ,2013-12-04

[5]

蒸镀装置和蒸镀装置的制作方法 [P].

梅亚梦 ;

覃事建 .

中国专利 :CN114277337A ,2022-04-05

[6]

蒸镀装置和蒸镀装置的制作方法 [P].

梅亚梦 ;

覃事建 .

中国专利 :CN114277337B ,2024-03-22

[7]

蒸镀坩埚及蒸镀装置 [P].

李发顺 .

中国专利 :CN108754428A ,2018-11-06

[8]

蒸镀装置 [P].

李鹏 .

中国专利 :CN106960920B ,2017-07-18

[9]

蒸镀设备以及蒸镀方法 [P].

杨锋 .

中国专利 :CN109161853A ,2019-01-08

[10]

蒸镀掩模及其制造方法、以及显示器件的制造方法 [P].

安松保志 ;

船户清彦 ;

横山周一 ;

竹山辉茂 ;

冢本典史 ;

岸伊织 ;

大石哲也 ;

河野寿光 ;

生长秀隆 ;

田村尚己 ;

吉川知博 .

日本专利 :CN120225718A ,2025-06-27

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