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蒸镀装置和蒸镀装置的制作方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202111544784.0
申请日：
2021-12-16
公开(公告)号：
CN114277337B
公开(公告)日：
2024-03-22
发明(设计)人：
梅亚梦
覃事建
申请人：
深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
申请人地址：
518132 广东省深圳市光明新区公明街道塘明大道9-2号
IPC主分类号：
C23C14/24
IPC分类号：
C23C14/56
代理机构：
深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570
代理人：
王芳芳
法律状态：
授权
国省代码：
广东省
深圳市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-03-22 | 授权 | 授权 |