蒸镀装置和蒸镀装置的制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202111544784.0

申请日：

2021-12-16

公开(公告)号：

CN114277337B

公开(公告)日：

2024-03-22

发明(设计)人：

梅亚梦覃事建

申请人：

深圳市华星光电半导体显示技术有限公司

申请人地址：

518132 广东省深圳市光明新区公明街道塘明大道9-2号

IPC主分类号：

C23C14/24

IPC分类号：

C23C14/56

代理机构：

深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570

代理人：

王芳芳

法律状态：

授权

国省代码：

广东省深圳市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-03-22	授权	授权

共 50 条

[21]

蒸镀装置及方法 [P].

孙亮 .

中国专利 :CN106567043B ,2017-04-19

[22]

蒸镀源及具有该蒸镀源的蒸镀设备 [P].

李玉峰 ;

徐飞 .

中国专利 :CN212128288U ,2020-12-11

[23]

蒸镀组件 [P].

吕文旭 ;

吴建鹏 ;

王永茂 ;

雒磊 ;

曾望明 ;

何宝轲 ;

马超 .

中国专利 :CN222648089U ,2025-03-21

[24]

显示面板蒸镀对位装置及蒸镀设备 [P].

刘昭林 ;

蔡鑫 .

中国专利 :CN120138564A ,2025-06-13

[25]

蒸镀机磁力对位装置及蒸镀机 [P].

高翔 ;

沈帅 ;

王永茂 ;

靳福江 ;

张钊 ;

刘远淳 ;

刘金彪 ;

周乐 ;

胡斌 .

中国专利 :CN120967296A ,2025-11-18

[26]

显示面板蒸镀对位装置及蒸镀设备 [P].

刘昭林 ;

蔡鑫 .

中国专利 :CN120138564B ,2025-09-19

[27]

一种蒸镀掩模板及蒸镀方法 [P].

杨凡 ;

梁逸南 ;

郭坤 .

中国专利 :CN106521412B ,2017-03-22

[28]

一种蒸镀装置、蒸镀方法、混合层和显示面板 [P].

刘彬 .

中国专利 :CN109628886B ,2019-04-16

[29]

蒸镀掩膜板及其制作方法 [P].

马得贵 ;

冉应刚 ;

吴俊雄 ;

柯贤军 ;

苏君海 ;

李建华 .

中国专利 :CN105154823A ,2015-12-16

[30]

蒸镀用基板及其制造方法、蒸镀方法 [P].

贵炳强 ;

吕振华 ;

曲连杰 ;

齐永莲 ;

王海宝 ;

张华冰 ;

牟玉喆 ;

赵合彬 ;

邱云 .

中国专利 :CN110306158A ,2019-10-08

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