一种集成电路之对准标记的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN96120504.0

申请日：

1996-11-05

公开(公告)号：

CN1053995C

公开(公告)日：

1998-05-13

发明(设计)人：

吕炳尧

申请人：

申请人地址：

中国台湾

IPC主分类号：

H01L218232

IPC分类号：

代理机构：

永新专利商标代理有限公司

代理人：

甘玲

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-12-28	专利权的终止	专利权有效期届满号牌文件类型代码:1611 号牌文件序号:101693577295 IPC(主分类):H01L 21/8232 专利号:ZL961205040 申请日:19961105 授权公告日:20000628 终止日期:无
1997-06-18	实质审查请求的生效	实质审查请求的生效
2000-05-24	著录项目变更	著录项目变更变更事项:专利权人变更前:合泰半导体股份有限公司变更后:联华电子股份有限公司
2000-06-28	授权	授权
1998-05-13	公开	公开

共 50 条

[1]

集成电路之制造方法 [P].

梁孟松 ;

章勋明 .

中国专利 :CN1437246A ,2003-08-20

[2]

集成电路的制造方法 [P].

吕炳尧 .

中国专利 :CN1067800C ,1998-05-27

[3]

一种半导体集成电路的制造方法 [P].

杨勇 ;

毛宗谦 .

中国专利 :CN115579326B ,2025-10-24

[4]

一种半导体集成电路的制造方法 [P].

杨勇 ;

毛宗谦 .

中国专利 :CN115579326A ,2023-01-06

[5]

集成电路的制造方法 [P].

刘家成 ;

陈传迢 .

中国专利 :CN1053065C ,1998-05-13

[6]

集成电路的制造方法 [P].

刘家成 .

中国专利 :CN1181614A ,1998-05-13

[7]

集成电路以及一种制造集成电路的方法 [P].

M·哈利克 ;

A·瓦特尔 ;

H·克劳克 ;

G·施米德 ;

U·茨施尚 .

中国专利 :CN1875432A ,2006-12-06

[8]

制造集成电路装置的方法和集成电路装置 [P].

卓容奭 ;

康珉材 ;

李周利 .

中国专利 :CN108695255A ,2018-10-23

[9]

集成电路和制造集成电路的方法 [P].

M·H·菲勒梅耶 ;

A·梅瑟 ;

T·施勒塞尔 ;

F·希尔勒 ;

M·珀尔齐尔 .

中国专利 :CN104518010B ,2015-04-15

[10]

集成电路和制造集成电路的方法 [P].

B.武特 .

中国专利 :CN104600067A ,2015-05-06

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