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光刻机台供水设备、涂胶显影机和光刻机
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201820919744.7
申请日：
2018-06-14
公开(公告)号：
CN208444135U
公开(公告)日：
2019-01-29
发明(设计)人：
赵鹏
徐猛
古哲安
黄志凯
叶日铨
申请人：
申请人地址：
223300 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号
IPC主分类号：
G03F742
IPC分类号：
G03F716
G03F730
G03F720
代理机构：
上海立群专利代理事务所(普通合伙) 31291
代理人：
杨楷;毛立群
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-01-29 | 授权 | 授权 |