银薄膜蚀刻液组合物、蚀刻方法和金属图案的形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110215383.4

申请日：

2018-05-22

公开(公告)号：

CN113026019A

公开(公告)日：

2021-06-25

发明(设计)人：

南基龙尹暎晋李原昊金童基朴英哲张晌勋

申请人：

申请人地址：

韩国全罗北道

IPC主分类号：

C23F130

IPC分类号：

H01L213213 H01L5156

代理机构：

北京银龙知识产权代理有限公司 11243

代理人：

金成哲;宋海花

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-07-13	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23F 1/30 申请日:20180522
2021-06-25	公开	公开

共 50 条

[1]

银薄膜蚀刻液组合物、蚀刻方法和金属图案的形成方法 [P].

南基龙 ;

尹暎晋 ;

李原昊 ;

金童基 ;

朴英哲 ;

张晌勋 .

韩国专利 :CN113026019B ,2024-01-26

[2]

银薄膜蚀刻液组合物、蚀刻方法和金属图案的形成方法 [P].

南基龙 ;

尹暎晋 ;

李原昊 ;

金童基 ;

朴英哲 ;

张晌勋 .

中国专利 :CN108930038B ,2018-12-04

[3]

银薄膜蚀刻液组合物、蚀刻方法及金属图案的形成方法 [P].

金炼卓 ;

金镇成 ;

南基龙 ;

刘仁浩 .

中国专利 :CN111172541B ,2020-05-19

[4]

银薄膜蚀刻液组合物、蚀刻方法及金属图案的形成方法 [P].

权五柄 ;

金童基 ;

金炼卓 ;

南基龙 ;

张晌勋 ;

李原昊 ;

崔汉永 .

中国专利 :CN111748816B ,2020-10-09

[5]

银薄膜蚀刻液组合物、蚀刻方法及金属图案的形成方法 [P].

权五柄 ;

李恩远 ;

赵现洙 .

中国专利 :CN111155092A ,2020-05-15

[6]

银薄膜蚀刻液组合物、蚀刻方法及金属图案的形成方法 [P].

权五柄 ;

李恩远 ;

赵现洙 ;

金童基 ;

南基龙 ;

张晌勋 ;

金相正 ;

李原昊 .

中国专利 :CN111172542A ,2020-05-19

[7]

银薄膜蚀刻液组合物及利用其的蚀刻方法和金属图案的形成方法 [P].

南基龙 ;

李原昊 ;

尹暎晋 ;

朴英哲 .

中国专利 :CN110644003B ,2020-01-03

[8]

银膜蚀刻液组合物、用它的蚀刻方法及金属图案形成方法 [P].

南基龙 ;

尹暎晋 ;

李原昊 .

中国专利 :CN110158088B ,2019-08-23

[9]

银薄膜蚀刻液组合物、使用该组合物的蚀刻方法及金属图案形成方法 [P].

权五柄 ;

南基龙 ;

闵庚灿 ;

李昔准 .

中国专利 :CN113637972A ,2021-11-12

[10]

银薄膜蚀刻液组合物、使用该组合物的蚀刻方法及金属图案形成方法 [P].

权五柄 ;

南基龙 ;

闵庚灿 ;

李昔准 .

韩国专利 :CN113637972B ,2024-03-26

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