银膜蚀刻液组合物、用它的蚀刻方法及金属图案形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811060573.8

申请日：

2018-09-12

公开(公告)号：

CN110158088B

公开(公告)日：

2019-08-23

发明(设计)人：

南基龙尹暎晋李原昊

申请人：

申请人地址：

韩国全罗北道

IPC主分类号：

C23F130

IPC分类号：

H01L213213 H01L5156

代理机构：

北京市中伦律师事务所 11410

代理人：

杨黎峰;钟锦舜

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-09-17	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23F 1/30 申请日:20180912
2019-08-23	公开	公开

共 50 条

[1]

银膜蚀刻液组合物、用它的蚀刻方法及金属图案形成方法 [P].

沈庆辅 ;

金童基 ;

尹暎晋 .

中国专利 :CN109797396B ,2019-05-24

[2]

银膜蚀刻液组合物、用它的蚀刻方法及金属图案形成方法 [P].

金炼卓 ;

金镇成 .

中国专利 :CN110295367A ,2019-10-01

[3]

银膜蚀刻液组合物、用它的蚀刻方法及金属图案形成方法 [P].

沈庆辅 ;

金童基 ;

尹暎晋 .

韩国专利 :CN113718258B ,2024-10-15

[4]

银膜蚀刻液组合物、用它的蚀刻方法及金属图案形成方法 [P].

沈庆辅 ;

金童基 ;

尹暎晋 .

中国专利 :CN113718258A ,2021-11-30

[5]

银薄膜蚀刻液组合物、蚀刻方法及金属图案的形成方法 [P].

金炼卓 ;

金镇成 ;

南基龙 ;

刘仁浩 .

中国专利 :CN111172541B ,2020-05-19

[6]

银薄膜蚀刻液组合物及利用其的蚀刻方法和金属图案的形成方法 [P].

南基龙 ;

李原昊 ;

尹暎晋 ;

朴英哲 .

中国专利 :CN110644003B ,2020-01-03

[7]

银薄膜蚀刻液组合物、使用该组合物的蚀刻方法及金属图案形成方法 [P].

南基龙 ;

尹暎晋 ;

李昔准 ;

李原昊 ;

权五柄 .

中国专利 :CN113652693A ,2021-11-16

[8]

银薄膜蚀刻液组合物、蚀刻方法和金属图案的形成方法 [P].

南基龙 ;

尹暎晋 ;

李原昊 ;

金童基 ;

朴英哲 ;

张晌勋 .

中国专利 :CN108930038B ,2018-12-04

[9]

银薄膜蚀刻液组合物、蚀刻方法及金属图案的形成方法 [P].

权五柄 ;

金童基 ;

金炼卓 ;

南基龙 ;

张晌勋 ;

李原昊 ;

崔汉永 .

中国专利 :CN111748816B ,2020-10-09

[10]

银蚀刻液组合物、利用它的蚀刻方法及金属图案形成方法 [P].

金镇成 ;

金炼卓 ;

梁圭亨 .

中国专利 :CN109750292B ,2019-05-14

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