银膜蚀刻液组合物、用它的蚀刻方法及金属图案形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811428355.5

申请日：

2018-11-27

公开(公告)号：

CN110295367A

公开(公告)日：

2019-10-01

发明(设计)人：

金炼卓金镇成

申请人：

申请人地址：

韩国全罗北道

IPC主分类号：

C23F130

IPC分类号：

C23F102

代理机构：

北京市中伦律师事务所 11410

代理人：

杨黎峰;钟锦舜

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-01-14	授权	授权
2019-11-01	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23F 1/30 申请日:20181127
2019-10-01	公开	公开

共 50 条

[1]

银膜蚀刻液组合物、用它的蚀刻方法及金属图案形成方法 [P].

沈庆辅 ;

金童基 ;

尹暎晋 .

中国专利 :CN109797396B ,2019-05-24

[2]

银膜蚀刻液组合物、用它的蚀刻方法及金属图案形成方法 [P].

沈庆辅 ;

金童基 ;

尹暎晋 .

韩国专利 :CN113718258B ,2024-10-15

[3]

银膜蚀刻液组合物、用它的蚀刻方法及金属图案形成方法 [P].

沈庆辅 ;

金童基 ;

尹暎晋 .

中国专利 :CN113718258A ,2021-11-30

[4]

银膜蚀刻液组合物、用它的蚀刻方法及金属图案形成方法 [P].

南基龙 ;

尹暎晋 ;

李原昊 .

中国专利 :CN110158088B ,2019-08-23

[5]

银蚀刻液组合物、利用它的蚀刻方法及金属图案形成方法 [P].

金镇成 ;

金炼卓 ;

梁圭亨 .

中国专利 :CN109750292B ,2019-05-14

[6]

银薄膜蚀刻液组合物、蚀刻方法和金属图案的形成方法 [P].

南基龙 ;

尹暎晋 ;

李原昊 ;

金童基 ;

朴英哲 ;

张晌勋 .

中国专利 :CN108930038B ,2018-12-04

[7]

银薄膜蚀刻液组合物、蚀刻方法及金属图案的形成方法 [P].

金炼卓 ;

金镇成 ;

南基龙 ;

刘仁浩 .

中国专利 :CN111172541B ,2020-05-19

[8]

银薄膜蚀刻液组合物、蚀刻方法及金属图案的形成方法 [P].

权五柄 ;

金童基 ;

金炼卓 ;

南基龙 ;

张晌勋 ;

李原昊 ;

崔汉永 .

中国专利 :CN111748816B ,2020-10-09

[9]

银薄膜蚀刻液组合物、蚀刻方法及金属图案的形成方法 [P].

权五柄 ;

李恩远 ;

赵现洙 ;

金童基 ;

南基龙 ;

张晌勋 ;

金相正 ;

李原昊 .

中国专利 :CN111172542A ,2020-05-19

[10]

银蚀刻液组合物、利用它的蚀刻方法及金属图案形成方法 [P].

金镇成 ;

金宝衡 ;

金兑勇 .

中国专利 :CN109797397B ,2019-05-24

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