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晶圆固定装置
被引：0
申请号：
CN202210679437.7
申请日：
2022-06-16
公开(公告)号：
CN114937630A
公开(公告)日：
2022-08-23
发明(设计)人：
李保文
闫涤
申请人：
申请人地址：
518000 广东省深圳市宝安区石岩街道塘头社区塘头1号路创维创新谷5#B栋101
IPC主分类号：
H01L21683
IPC分类号：
H01L2167
代理机构：
广州三环专利商标代理有限公司 44202
代理人：
黄禹强
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-08-23 | 公开 | 公开 |
| 2022-09-09 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/683 申请日:20220616 |