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晶圆固定装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201310184451.0
申请日：
2013-05-17
公开(公告)号：
CN103236414A
公开(公告)日：
2013-08-07
发明(设计)人：
朱玉萍
岑刚
申请人：
申请人地址：
314100 浙江省嘉兴市嘉善县大云镇嘉善大道2188号3号楼1D、1E室
IPC主分类号：
H01L21687
IPC分类号：
代理机构：
上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218
代理人：
翟羽;黄燕石
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2013-08-07 | 公开 | 公开 |
| 2022-02-22 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 IPC(主分类):H01L 21/687 登记生效日:20220209 变更事项:专利权人 变更前权利人:嘉兴景焱智能装备技术有限公司 变更后权利人:景焱(江苏)智能装备有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:314100 浙江省嘉兴市嘉善县大云镇嘉善大道2188号3号楼1D、1E室 变更后权利人:226400 江苏省南通市如东县掘港街道金山路1号(半导体产业园6号楼3-4楼) |
| 2015-09-30 | 授权 | 授权 |
| 2013-09-04 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101514731744 IPC(主分类):H01L 21/687 专利申请号:2013101844510 申请日:20130517 |