用气体辅助聚焦粒子束系统修补图形薄膜

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN98806122.8

申请日：

1998-04-15

公开(公告)号：

CN1261458A

公开(公告)日：

2000-07-26

发明(设计)人：

小J·D·凯西 A·多伊勒

申请人：

申请人地址：

美国马萨诸塞州

IPC主分类号：

H01L21306

IPC分类号：

H01L213213 H01J37305 H01L21465

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司

代理人：

邹光新;叶恺东

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-06-01	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/306 专利号:ZL988061228 申请日:19980415 授权公告日:20050427 终止日期:20150415 号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101663506672
2000-08-02	实质审查请求的生效	实质审查请求的生效
2005-04-27	授权	授权
2000-07-26	公开	公开

共 7 条

[1]

聚焦粒子束 [P].

K.P.高尔 ;

G.T.兹瓦特 ;

J.范德兰 ;

C.D.奥尼尔三世 ;

K.Y.弗兰岑 .

中国专利 :CN104813748A ,2015-07-29

[2]

聚焦粒子束系统和分析带电粒子束的能量的方法 [P].

D.W.塔格尔 ;

J.B.麦金 ;

C.奥蒂斯 .

中国专利 :CN103779159B ,2014-05-07

[3]

聚焦离子束系统及改进聚焦粒子束加工的方法 [P].

T.米勒 ;

S.克罗格 ;

S.张 ;

M.马佐斯 ;

A.格劳佩拉 .

中国专利 :CN103456588B ,2013-12-18

[4]

使用磁场颤振聚焦粒子束 [P].

G.T.兹瓦特 ;

K.P.高尔 ;

J.V.D.兰 ;

C.D.奥尼尔三世 ;

K.Y.弗兰岑 .

中国专利 :CN104813747A ,2015-07-29

[5]

利用聚焦粒子束对样品进行成像和处理的装置 [P].

D·施瓦兹 ;

D·莱姆勒 ;

M·施奈尔 ;

T·贝克 ;

F·纽伯格 .

德国专利 :CN117594404A ,2024-02-23

[6]

使用聚焦粒子束修复样品的缺陷的方法与装置 [P].

N·奥思 ;

D·里诺 ;

R·费蒂格 .

德国专利 :CN117980820A ,2024-05-03

[7]

基于蒙特卡洛方法聚焦粒子束进行放射治疗的模拟方法 [P].

安超凡 ;

聂元存 ;

戴责已 ;

李佳 .

中国专利 :CN120789509A ,2025-10-17