物理法回收硅片切割废砂浆中的切割液、晶硅粉和碳化硅微粉的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210190750.0

申请日：

2012-06-04

公开(公告)号：

CN102730696B

公开(公告)日：

2012-10-17

发明(设计)人：

郭士德

申请人：

申请人地址：

262500 山东省青州市高柳镇阳河工业园

IPC主分类号：

C10M17500

IPC分类号：

C01B33037 C01B3136 C02F910

代理机构：

代理人：

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-07-13	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C10M 175/00 申请日:20120604 授权公告日:20140625 终止日期:20170604
2012-10-17	公开	公开
2014-06-25	授权	授权
2012-12-12	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101363528836 IPC(主分类):C01B 33/037 专利申请号:2012101907500 申请日:20120604

共 50 条

[1]

硅片切割废砂浆中切割液和碳化硅回收系统 [P].

陈五奎 ;

胡文祥 ;

刘强 ;

李军 ;

刘建 .

中国专利 :CN201998337U ,2011-10-05

[2]

从硅片线切割加工废砂浆中回收碳化硅微粉和线切割液的方法 [P].

周强 ;

龚志刚 .

中国专利 :CN102010785A ,2011-04-13

[3]

一种从硅片切割产生的废砂浆中回收碳化硅微粉的方法 [P].

卞维真 ;

宋涵 ;

孙守振 ;

吴静蕊 .

中国专利 :CN102120576A ,2011-07-13

[4]

硅片切割废砂浆中碳化硅和聚乙二醇切割液的回收方法 [P].

杨长剑 ;

莘双银 ;

周君 ;

支田田 .

中国专利 :CN103183349B ,2013-07-03

[5]

一种硅片切割废砂浆中的碳化硅回收利用的方法 [P].

孟庆华 ;

鄢洪建 .

中国专利 :CN102557031A ,2012-07-11

[6]

硅片切割废砂浆中硅与碳化硅分离回收装置 [P].

丁辉 ;

张瑞玲 ;

王哲 ;

罗伟 ;

张艳华 ;

李鑫钢 .

中国专利 :CN202030529U ,2011-11-09

[7]

一种从切割废砂浆中回收硅粉和碳化硅粉的方法 [P].

杨建锋 ;

高积强 ;

陈畅 ;

杨军 ;

张文辉 .

中国专利 :CN100528488C ,2008-02-27

[8]

硅片切割废砂浆中硅与碳化硅分离回收装置及方法 [P].

丁辉 ;

张瑞玲 ;

罗伟 ;

王哲 ;

吴巍 ;

李鑫钢 .

中国专利 :CN102161486A ,2011-08-24

[9]

一种回收硅片切割废砂浆中切割液和碳化硅的系统 [P].

王彭 ;

李宏 ;

王祎 .

中国专利 :CN202865196U ,2013-04-10

[10]

一种回收硅片切割废砂浆中切割液和碳化硅的系统 [P].

李朝辉 ;

王军 .

中国专利 :CN205368285U ,2016-07-06

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