硅片切割废砂浆中硅与碳化硅分离回收装置及方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201110041395.6
申请日
2011-02-23
公开(公告)号
CN102161486A
公开(公告)日
2011-08-24
发明(设计)人
丁辉 张瑞玲 罗伟 王哲 吴巍 李鑫钢
申请人
申请人地址
300072 天津市南开区卫津路92号天津大学
IPC主分类号
C01B3302
IPC分类号
C01B33037 C01B3136 B01D5702 C10M17500
代理机构
天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201
代理人
王丽
法律状态
专利申请权、专利权的转移
国省代码
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共 50 条
[1]
硅片切割废砂浆中硅与碳化硅分离回收装置 [P]. 
丁辉 ;
张瑞玲 ;
王哲 ;
罗伟 ;
张艳华 ;
李鑫钢 .
中国专利 :CN202030529U ,2011-11-09
[2]
硅片切割废砂浆中切割液和碳化硅回收系统 [P]. 
陈五奎 ;
胡文祥 ;
刘强 ;
李军 ;
刘建 .
中国专利 :CN201998337U ,2011-10-05
[3]
一种硅片切割废砂浆中硅和碳化硅的回收方法 [P]. 
刘丽芝 ;
罗波 ;
朱三平 .
中国专利 :CN102659111A ,2012-09-12
[4]
一种硅片切割废砂浆中的碳化硅回收利用的方法 [P]. 
孟庆华 ;
鄢洪建 .
中国专利 :CN102557031A ,2012-07-11
[5]
一种用于硅与碳化硅分离回收装置 [P]. 
张瑞玲 ;
丁辉 ;
罗伟 ;
吴巍 ;
王哲 ;
李鑫钢 .
中国专利 :CN102172475A ,2011-09-07
[6]
物理法回收硅片切割废砂浆中的切割液、晶硅粉和碳化硅微粉的方法 [P]. 
郭士德 .
中国专利 :CN102730696B ,2012-10-17
[7]
硅片切割废砂浆中碳化硅和聚乙二醇切割液的回收方法 [P]. 
杨长剑 ;
莘双银 ;
周君 ;
支田田 .
中国专利 :CN103183349B ,2013-07-03
[8]
一种从硅片切割产生的废砂浆中回收碳化硅微粉的方法 [P]. 
卞维真 ;
宋涵 ;
孙守振 ;
吴静蕊 .
中国专利 :CN102120576A ,2011-07-13
[9]
一种从切割废砂浆中回收硅粉和碳化硅粉的方法 [P]. 
杨建锋 ;
高积强 ;
陈畅 ;
杨军 ;
张文辉 .
中国专利 :CN100528488C ,2008-02-27
[10]
一种从晶硅切割废砂浆中回收碳化硅组份的方法 [P]. 
刘来宝 .
中国专利 :CN102399620A ,2012-04-04