一种化学机械抛光液

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201010620152.3

申请日：

2010-12-30

公开(公告)号：

CN102533125A

公开(公告)日：

2012-07-04

发明(设计)人：

荆建芬

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江高科技园区龙东大道3000号5号楼613-618室

IPC主分类号：

C09G102

IPC分类号：

代理机构：

上海翰鸿律师事务所 31246

代理人：

李佳铭

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-07-04	公开	公开
2014-08-13	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101703925334 IPC(主分类):C09G 1/02 专利申请号:2010106201523 申请公布日:20120704

共 50 条

[1]

一种化学机械抛光液 [P].

潘依君 ;

荆建芬 ;

张建 ;

姚颖 ;

宋凯 ;

蔡鑫元 ;

杨俊雅 ;

卞鹏程 ;

李恒 .

中国专利 :CN109971358A ,2019-07-05

[2]

多晶硅化学机械抛光液 [P].

荆建芬 ;

杨春晓 ;

王麟 .

中国专利 :CN101280158A ,2008-10-08

[3]

多晶硅化学机械抛光液 [P].

荆建芬 ;

杨春晓 .

中国专利 :CN101652445B ,2010-02-17

[4]

一种化学机械抛光液 [P].

荆建芬 ;

蔡鑫元 ;

张建 .

中国专利 :CN102559059A ,2012-07-11

[5]

一种化学机械抛光液 [P].

姚颖 ;

荆建芬 ;

卞鹏程 ;

潘依君 ;

李恒 ;

宋凯 ;

杨俊雅 ;

马健 .

中国专利 :CN109971354A ,2019-07-05

[6]

用于抛光多晶硅的化学机械抛光液 [P].

荆建芬 ;

杨春晓 .

中国专利 :CN101558125A ,2009-10-14

[7]

用于抛光多晶硅的化学机械抛光液 [P].

荆建芬 ;

王麟 ;

杨春晓 .

中国专利 :CN101153206A ,2008-04-02

[8]

一种化学机械抛光液及其应用 [P].

荆建芬 ;

姚颖 ;

邱腾飞 ;

蔡鑫元 ;

陈宝明 .

中国专利 :CN104745090A ,2015-07-01

[9]

一种化学机械抛光液 [P].

卞鹏程 ;

荆建芬 ;

姚颖 ;

李恒 ;

黄悦锐 ;

马健 .

中国专利 :CN111378381A ,2020-07-07

[10]

一种化学机械抛光液 [P].

杨春晓 ;

荆建芬 ;

姚红 .

中国专利 :CN101492592A ,2009-07-29

← 1 2 3 4 5 →