一种化学机械抛光液

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201711439627.7

申请日：

2017-12-27

公开(公告)号：

CN109971358A

公开(公告)日：

2019-07-05

发明(设计)人：

潘依君荆建芬张建姚颖宋凯蔡鑫元杨俊雅卞鹏程李恒

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江高科技园区碧波路889号1幢E座第1至第2层，以及第3层的部分区域

IPC主分类号：

C09G102

IPC分类号：

H01L21306

代理机构：

北京大成律师事务所 11352

代理人：

李佳铭;沈汶波

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-12-08	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C09G 1/02 申请日:20171227
2019-07-05	公开	公开

共 50 条

[1]

一种化学机械抛光液 [P].

荆建芬 .

中国专利 :CN102533125A ,2012-07-04

[2]

一种化学机械抛光液 [P].

荆建芬 ;

杨春晓 .

中国专利 :CN101457126A ,2009-06-17

[3]

多晶硅化学机械抛光液 [P].

荆建芬 ;

杨春晓 ;

王麟 .

中国专利 :CN101280158A ,2008-10-08

[4]

多晶硅化学机械抛光液 [P].

荆建芬 ;

杨春晓 .

中国专利 :CN101652445B ,2010-02-17

[5]

用于抛光多晶硅的化学机械抛光液 [P].

荆建芬 ;

杨春晓 .

中国专利 :CN101558125A ,2009-10-14

[6]

用于抛光多晶硅的化学机械抛光液 [P].

荆建芬 ;

王麟 ;

杨春晓 .

中国专利 :CN101153206A ,2008-04-02

[7]

一种化学机械抛光液 [P].

荆建芬 ;

蔡鑫元 ;

杨春晓 .

中国专利 :CN101747842B ,2010-06-23

[8]

一种化学机械抛光液 [P].

荆建芬 ;

杨春晓 ;

姚红 .

中国专利 :CN101457127B ,2009-06-17

[9]

一种化学机械抛光液 [P].

荆建芬 ;

蔡鑫元 ;

张建 .

中国专利 :CN102559059A ,2012-07-11

[10]

一种化学机械抛光液 [P].

黄悦锐 ;

姚颖 ;

荆建芬 ;

倪宇飞 ;

马健 ;

杨俊雅 ;

汪国豪 ;

李恒 ;

陆弘毅 .

中国专利 :CN113122144A ,2021-07-16

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