用于物理气相沉积腔室的沉积环及静电夹盘

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201180045703.0

申请日：

2011-10-07

公开(公告)号：

CN103140913A

公开(公告)日：

2013-06-05

发明(设计)人：

M·拉希德 K·A·米勒 R·王

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

H01L21203

IPC分类号：

H01L21683

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司 31100

代理人：

陆勍;刘佳

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-09-28	授权	授权
2013-12-04	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101548121819 IPC(主分类):H01L 21/203 专利申请号:2011800457030 申请日:20111007
2013-06-05	公开	公开

共 50 条

[1]

用于物理气相沉积腔室的沉积环及静电夹盘 [P].

M·拉希德 ;

K·A·米勒 ;

R·王 .

中国专利 :CN105177519B ,2015-12-23

[2]

用于物理气相沉积腔室的沉积环及静电夹盘 [P].

M·拉希德 ;

K·A·米勒 ;

R·王 .

中国专利 :CN108359957A ,2018-08-03

[3]

沉积环（用于物理气相沉积腔室） [P].

大卫·冈瑟 ;

蔡振雄 ;

希兰库玛·尼拉桑德拉·萨万戴亚 .

中国专利 :CN305627489S ,2020-02-21

[4]

静电吸盘、物理气相沉积腔室及物理气相沉积设备 [P].

李昇聪 .

中国专利 :CN220767151U ,2024-04-12

[5]

用于物理气相沉积的沉积环和物理气相沉积设备 [P].

陈杰锋 ;

张辉 .

中国专利 :CN108950510A ,2018-12-07

[6]

用于物理气相沉积的沉积环和物理气相沉积设备 [P].

陈杰锋 ;

李理 .

中国专利 :CN208667840U ,2019-03-29

[7]

用于物理气相沉积的沉积环和物理气相沉积设备 [P].

白志民 ;

李萌 ;

邱国庆 ;

佘清 ;

王厚工 ;

赵梦欣 ;

丁培军 .

中国专利 :CN106637124A ,2017-05-10

[8]

物理气相沉积腔室和物理气相沉积设备 [P].

郭宏瑞 ;

李冰 ;

黄其伟 .

中国专利 :CN110885965A ,2020-03-17

[9]

用于物理气相沉积的腔室 [P].

R·欣特舒斯特 ;

L·利珀特 .

中国专利 :CN102918622B ,2013-02-06

[10]

沉积设备以及物理气相沉积腔室 [P].

张军 ;

董博宇 ;

赵晋荣 ;

武学伟 ;

郭冰亮 ;

徐宝岗 ;

张鹤南 ;

王桐 ;

刘绍辉 ;

王军 .

中国专利 :CN107488832B ,2017-12-19

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