沉积环(用于物理气相沉积腔室)

被引:0
专利类型
外观设计
申请号
CN201930312679.1
申请日
2019-06-17
公开(公告)号
CN305627489S
公开(公告)日
2020-02-21
发明(设计)人
大卫·冈瑟 蔡振雄 希兰库玛·尼拉桑德拉·萨万戴亚
申请人
申请人地址
美国加利福尼亚州
IPC主分类号
2401
IPC分类号
代理机构
北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006
代理人
徐金国;赵静
法律状态
授权
国省代码
引用
下载
收藏
共 50 条
[1]
物理气相沉积腔室和物理气相沉积设备 [P]. 
郭宏瑞 ;
李冰 ;
黄其伟 .
中国专利 :CN110885965A ,2020-03-17
[2]
用于物理气相沉积的沉积环和物理气相沉积设备 [P]. 
陈杰锋 ;
张辉 .
中国专利 :CN108950510A ,2018-12-07
[3]
用于物理气相沉积的沉积环和物理气相沉积设备 [P]. 
陈杰锋 ;
李理 .
中国专利 :CN208667840U ,2019-03-29
[4]
用于物理气相沉积的沉积环和物理气相沉积设备 [P]. 
白志民 ;
李萌 ;
邱国庆 ;
佘清 ;
王厚工 ;
赵梦欣 ;
丁培军 .
中国专利 :CN106637124A ,2017-05-10
[5]
用于物理气相沉积腔室的沉积环及静电夹盘 [P]. 
M·拉希德 ;
K·A·米勒 ;
R·王 .
中国专利 :CN105177519B ,2015-12-23
[6]
用于物理气相沉积腔室的沉积环及静电夹盘 [P]. 
M·拉希德 ;
K·A·米勒 ;
R·王 .
中国专利 :CN103140913A ,2013-06-05
[7]
用于物理气相沉积腔室的沉积环及静电夹盘 [P]. 
M·拉希德 ;
K·A·米勒 ;
R·王 .
中国专利 :CN108359957A ,2018-08-03
[8]
用于物理气相沉积的腔室 [P]. 
R·欣特舒斯特 ;
L·利珀特 .
中国专利 :CN102918622B ,2013-02-06
[9]
静电吸盘、物理气相沉积腔室及物理气相沉积设备 [P]. 
李昇聪 .
中国专利 :CN220767151U ,2024-04-12
[10]
用于物理气相沉积腔室的溅射靶 [P]. 
克兰库玛尔·纽拉桑德拉·萨凡迪亚 ;
大卫·冈瑟 ;
许绍杰 .
中国专利 :CN306285252S ,2021-01-15