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沉积环(用于物理气相沉积腔室)
被引:0
专利类型
:
外观设计
申请号
:
CN201930312679.1
申请日
:
2019-06-17
公开(公告)号
:
CN305627489S
公开(公告)日
:
2020-02-21
发明(设计)人
:
大卫·冈瑟
蔡振雄
希兰库玛·尼拉桑德拉·萨万戴亚
申请人
:
申请人地址
:
美国加利福尼亚州
IPC主分类号
:
2401
IPC分类号
:
代理机构
:
北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006
代理人
:
徐金国;赵静
法律状态
:
授权
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2020-02-21
授权
授权
共 50 条
[1]
物理气相沉积腔室和物理气相沉积设备
[P].
郭宏瑞
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郭宏瑞
;
李冰
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李冰
;
黄其伟
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黄其伟
.
中国专利
:CN110885965A
,2020-03-17
[2]
用于物理气相沉积的沉积环和物理气相沉积设备
[P].
陈杰锋
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陈杰锋
;
张辉
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张辉
.
中国专利
:CN108950510A
,2018-12-07
[3]
用于物理气相沉积的沉积环和物理气相沉积设备
[P].
陈杰锋
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陈杰锋
;
李理
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李理
.
中国专利
:CN208667840U
,2019-03-29
[4]
用于物理气相沉积的沉积环和物理气相沉积设备
[P].
白志民
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白志民
;
李萌
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李萌
;
邱国庆
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邱国庆
;
佘清
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佘清
;
王厚工
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王厚工
;
赵梦欣
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赵梦欣
;
丁培军
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丁培军
.
中国专利
:CN106637124A
,2017-05-10
[5]
用于物理气相沉积腔室的沉积环及静电夹盘
[P].
M·拉希德
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M·拉希德
;
K·A·米勒
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K·A·米勒
;
R·王
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R·王
.
中国专利
:CN105177519B
,2015-12-23
[6]
用于物理气相沉积腔室的沉积环及静电夹盘
[P].
M·拉希德
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M·拉希德
;
K·A·米勒
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K·A·米勒
;
R·王
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R·王
.
中国专利
:CN103140913A
,2013-06-05
[7]
用于物理气相沉积腔室的沉积环及静电夹盘
[P].
M·拉希德
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M·拉希德
;
K·A·米勒
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K·A·米勒
;
R·王
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R·王
.
中国专利
:CN108359957A
,2018-08-03
[8]
用于物理气相沉积的腔室
[P].
R·欣特舒斯特
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R·欣特舒斯特
;
L·利珀特
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L·利珀特
.
中国专利
:CN102918622B
,2013-02-06
[9]
静电吸盘、物理气相沉积腔室及物理气相沉积设备
[P].
李昇聪
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机构:
合肥晶合集成电路股份有限公司
合肥晶合集成电路股份有限公司
李昇聪
.
中国专利
:CN220767151U
,2024-04-12
[10]
用于物理气相沉积腔室的溅射靶
[P].
克兰库玛尔·纽拉桑德拉·萨凡迪亚
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克兰库玛尔·纽拉桑德拉·萨凡迪亚
;
大卫·冈瑟
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大卫·冈瑟
;
许绍杰
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许绍杰
.
中国专利
:CN306285252S
,2021-01-15
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