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半导体设备及其操作方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010504657.7
申请日：
2020-06-05
公开(公告)号：
CN113759675A
公开(公告)日：
2021-12-07
发明(设计)人：
江平
申请人：
申请人地址：
230000 安徽省合肥市经济技术开发区翠微路6号海恒大厦630室
IPC主分类号：
G03F730
IPC分类号：
代理机构：
广州华进联合专利商标代理有限公司 44224
代理人：
杜娟娟
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-12-24 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/30 申请日:20200605 |
| 2021-12-07 | 公开 | 公开 |