一种浅沟槽隔离结构及其制造方法

被引：0

申请号：

CN202111497529.5

申请日：

2021-12-09

公开(公告)号：

CN114267630A

公开(公告)日：

2022-04-01

发明(设计)人：

王壮壮杜怡行杨耀华顾林王虎

申请人：

申请人地址：

214028 江苏省无锡市新吴区新洲路30号

IPC主分类号：

H01L21762

IPC分类号：

H01L2711517

代理机构：

上海浦一知识产权代理有限公司 31211

代理人：

刘昌荣

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-04-19	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/762 申请日:20211209
2022-04-01	公开	公开

共 50 条

[1]

浅沟槽隔离结构及其制造方法 [P].

刘永 ;

肖德元 .

中国专利 :CN101330035B ,2008-12-24

[2]

浅沟槽隔离结构的制造方法 [P].

刘兵武 .

中国专利 :CN101989565A ,2011-03-23

[3]

浅沟槽隔离结构的制造方法 [P].

刘明源 ;

郑春生 ;

蔡明 .

中国专利 :CN101459116B ,2009-06-17

[4]

浅沟槽隔离结构的制造方法 [P].

邵群 .

中国专利 :CN102693932B ,2012-09-26

[5]

浅沟槽隔离结构及其制造方法 [P].

刘永 ;

肖德元 .

中国专利 :CN100576491C ,2008-12-24

[6]

浅沟槽隔离结构的制造方法 [P].

何永根 ;

刘焕新 ;

朴松源 ;

方标 .

中国专利 :CN100483669C ,2008-04-02

[7]

浅沟槽隔离结构的制造方法 [P].

郁赛华 ;

孙勤 .

中国专利 :CN110211916A ,2019-09-06

[8]

浅沟槽隔离结构的制造方法 [P].

何学缅 ;

王荣 ;

王丹 .

中国专利 :CN101459115A ,2009-06-17

[9]

浅沟槽隔离结构的制造方法 [P].

李睿 ;

俞柳江 ;

王庆东 .

中国专利 :CN101226895A ,2008-07-23

[10]

浅沟槽及其制造方法和浅沟槽隔离结构 [P].

韩秋华 ;

王新鹏 ;

张世谋 .

中国专利 :CN101783313A ,2010-07-21

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