金属有机汽化和供给设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200710112134.2

申请日：

2007-06-19

公开(公告)号：

CN101092690A

公开(公告)日：

2007-12-26

发明(设计)人：

上野昌纪高桥健上田登志雄矢作理中村孝夫氏家一夫石川亨一竹本菊郎

申请人：

申请人地址：

日本大阪府大阪市中央区北浜四丁目5番33号

IPC主分类号：

C23C16455

IPC分类号：

H01L21205

代理机构：

中原信达知识产权代理有限责任公司

代理人：

穆德骏;黄启行

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2008-02-20	实质审查的生效	实质审查的生效
2007-12-26	公开	公开
2010-07-21	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101003339012 IPC(主分类):C23C 16/455 专利申请号:2007101121342 公开日:20071226

共 50 条

[1]

金属有机材料和方法 [P].

D·王 ;

P·特雷福纳斯三世 ;

K·M·奥康纳 ;

D·C·杨 .

中国专利 :CN105633300A ,2016-06-01

[2]

金属有机源供给装置 [P].

汤钦宇 ;

徐鸿飞 ;

吴旗召 .

中国专利 :CN223118542U ,2025-07-18

[3]

金属有机源供给装置 [P].

汤钦宇 ;

徐鸿飞 ;

吴旗召 .

中国专利 :CN223468445U ,2025-10-24

[4]

金属有机材料和制备方法 [P].

M·E·范德布姆 ;

M·拉哈夫 ;

R·巴尔格雷 ;

S·尚卡尔普帕纳尔 .

中国专利 :CN114805831A ,2022-07-29

[5]

金属有机材料和制备方法 [P].

M·E·范德布姆 ;

M·拉哈夫 ;

R·巴尔格雷 ;

S·尚卡尔普帕纳尔 .

中国专利 :CN105873987A ,2016-08-17

[6]

金属有机材料及其制备方法和应用 [P].

巩旭 ;

李贵杰 ;

唐凡 ;

吴江 ;

战鸽 ;

陈建平 .

中国专利 :CN119708070A ,2025-03-28

[7]

固态金属有机源的集中供给系统 [P].

吕宝源 .

中国专利 :CN114150294A ,2022-03-08

[8]

金属有机材料的制备方法 [P].

徐海 ;

梁哲文 ;

刘雷 ;

申德振 .

中国专利 :CN113529015A ,2021-10-22

[9]

一种金属有机框架负载药物及其制备方法和应用 [P].

刘杰 ;

杨丽聪 ;

尹田田 ;

周艳晖 .

中国专利 :CN104922673A ,2015-09-23

[10]

用于供给高纯度氨气的设备和方法 [P].

田口裕康 ;

小菅靖浩 .

中国专利 :CN100414150C ,2006-05-31

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