金属有机源供给装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202422348878.6

申请日：

2024-09-25

公开(公告)号：

CN223118542U

公开(公告)日：

2025-07-18

发明(设计)人：

汤钦宇徐鸿飞吴旗召

申请人：

常州承芯半导体有限公司

申请人地址：

213166 江苏省常州市武进区国家高新技术产业开发区淹城南路520号

IPC主分类号：

C23C16/18

IPC分类号：

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

吴敏

法律状态：

授权

国省代码：

河北省保定市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-07-18	授权	授权

共 50 条

[1]

金属有机源供给装置 [P].

汤钦宇 ;

徐鸿飞 ;

吴旗召 .

中国专利 :CN223468445U ,2025-10-24

[2]

固态金属有机源的集中供给系统 [P].

吕宝源 .

中国专利 :CN114150294A ,2022-03-08

[3]

一种金属有机源加料装置 [P].

刘祥林 .

中国专利 :CN105401133A ,2016-03-16

[4]

一种金属有机源加料装置 [P].

刘祥林 .

中国专利 :CN204080103U ,2015-01-07

[5]

一种用于MOCVD的金属有机源掺杂装置 [P].

绳瑞达 ;

李烈军 ;

彭继华 ;

高吉祥 .

中国专利 :CN206562453U ,2017-10-17

[6]

金属有机源压力闭环控制系统 [P].

顾书林 ;

秦锋 ;

胡立群 ;

朱顺明 ;

叶建东 ;

郑有炓 ;

张荣 ;

施毅 .

中国专利 :CN1584111A ,2005-02-23

[7]

一种金属有机源的精馏工艺 [P].

王伟 ;

俞冬雷 ;

宣宗亮 ;

刘喜 .

中国专利 :CN107118227A ,2017-09-01

[8]

有机金属化合物供给装置 [P].

安部寿充 .

中国专利 :CN101981660B ,2011-02-23

[9]

金属有机汽化和供给设备 [P].

上野昌纪 ;

高桥健 ;

上田登志雄 ;

矢作理 ;

中村孝夫 ;

氏家一夫 ;

石川亨一 ;

竹本菊郎 .

中国专利 :CN101092690A ,2007-12-26

[10]

有机金属化合物供给装置 [P].

安部寿充 ;

井手直行 .

中国专利 :CN101240446B ,2008-08-13

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