一种金属有机源加料装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201420531279.1

申请日：

2014-09-15

公开(公告)号：

CN204080103U

公开(公告)日：

2015-01-07

发明(设计)人：

刘祥林

申请人：

申请人地址：

100083 北京市海淀区西三旗沁春家园2号楼20层2002室

IPC主分类号：

C23C16448

IPC分类号：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-01-07	授权	授权
2018-03-13	避免重复授权放弃专利权	避免重复授予专利权 IPC(主分类):C23C 16/448 申请日:20140915 授权公告日:20150107 放弃生效日:20180313

共 50 条

[1]

一种金属有机源加料装置 [P].

刘祥林 .

中国专利 :CN105401133A ,2016-03-16

[2]

一种用于MOCVD的金属有机源掺杂装置 [P].

绳瑞达 ;

李烈军 ;

彭继华 ;

高吉祥 .

中国专利 :CN206562453U ,2017-10-17

[3]

金属有机源供给装置 [P].

汤钦宇 ;

徐鸿飞 ;

吴旗召 .

中国专利 :CN223118542U ,2025-07-18

[4]

金属有机源供给装置 [P].

汤钦宇 ;

徐鸿飞 ;

吴旗召 .

中国专利 :CN223468445U ,2025-10-24

[5]

一种提升液体金属有机源使用量的装置 [P].

俞冬雷 .

中国专利 :CN212156650U ,2020-12-15

[6]

一种用于装填固态金属有机源的钢瓶 [P].

陈鹏 ;

王伟 ;

郑述安 .

中国专利 :CN218237058U ,2023-01-06

[7]

一种金属有机源的精馏工艺 [P].

王伟 ;

俞冬雷 ;

宣宗亮 ;

刘喜 .

中国专利 :CN107118227A ,2017-09-01

[8]

一种用于装填固态金属有机源的专用钢瓶 [P].

俞冬雷 ;

王伟 ;

徐昕 .

中国专利 :CN207230150U ,2018-04-13

[9]

一种基于金属有机源焊接的方法 [P].

王春成 ;

王振峰 ;

刘青松 .

中国专利 :CN117059503B ,2024-04-02

[10]

一种基于MOCVD设备的金属有机源输送管道系统 [P].

邬元杰 ;

时浩泽 ;

李东昇 ;

操晓敏 ;

芦佳 ;

张燕平 .

中国专利 :CN215050677U ,2021-12-07

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