一种金属有机源加料装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410471612.9

申请日：

2014-09-15

公开(公告)号：

CN105401133A

公开(公告)日：

2016-03-16

发明(设计)人：

刘祥林

申请人：

申请人地址：

100083 北京市海淀区西三旗沁春家园2号楼20层2002室

IPC主分类号：

C23C16448

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法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-05-25	文件的公告送达	文件的公告送达号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101732711424 IPC(主分类):C23C 16/448 专利号:无专利申请号:2014104716129 收件人:刘祥林文件名称:发明专利申请公布及进入实质审查通知书
2016-04-13	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101655083745 IPC(主分类):C23C 16/448 专利申请号:2014104716129 申请日:20140915
2018-03-13	授权	授权
2016-03-16	公开	公开
2019-09-03	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 16/448 申请日:20140915 授权公告日:20180313 终止日期:20180915

共 50 条

[1]

一种金属有机源加料装置 [P].

刘祥林 .

中国专利 :CN204080103U ,2015-01-07

[2]

金属有机源供给装置 [P].

汤钦宇 ;

徐鸿飞 ;

吴旗召 .

中国专利 :CN223118542U ,2025-07-18

[3]

金属有机源供给装置 [P].

汤钦宇 ;

徐鸿飞 ;

吴旗召 .

中国专利 :CN223468445U ,2025-10-24

[4]

一种用于MOCVD的金属有机源掺杂装置 [P].

绳瑞达 ;

李烈军 ;

彭继华 ;

高吉祥 .

中国专利 :CN206562453U ,2017-10-17

[5]

一种金属有机源的精馏工艺 [P].

王伟 ;

俞冬雷 ;

宣宗亮 ;

刘喜 .

中国专利 :CN107118227A ,2017-09-01

[6]

一种金属有机物化学气相沉积设备放空压力控制装置 [P].

李刚 ;

常依斌 ;

王占柱 .

中国专利 :CN202072764U ,2011-12-14

[7]

一种基于金属有机源焊接的方法 [P].

王春成 ;

王振峰 ;

刘青松 .

中国专利 :CN117059503B ,2024-04-02

[8]

一种提升液体金属有机源使用量的装置 [P].

俞冬雷 .

中国专利 :CN212156650U ,2020-12-15

[9]

一种用于MOCVD的金属有机源掺杂装置及方法 [P].

绳瑞达 ;

李烈军 ;

彭继华 ;

高吉祥 .

中国专利 :CN106676496A ,2017-05-17

[10]

一种提升液体金属有机源使用量的装置 [P].

俞冬雷 .

中国专利 :CN111120866A ,2020-05-08

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