一种用于MOCVD的金属有机源掺杂装置及方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710106314.3

申请日：

2017-02-27

公开(公告)号：

CN106676496A

公开(公告)日：

2017-05-17

发明(设计)人：

绳瑞达李烈军彭继华高吉祥

申请人：

申请人地址：

510640 广东省广州市天河区五山路381号

IPC主分类号：

C23C1627

IPC分类号：

C23C16455

代理机构：

广州粤高专利商标代理有限公司 44102

代理人：

何淑珍

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-06-09	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101726050581 IPC(主分类):C23C 16/27 专利申请号:2017101063143 申请日:20170227
2020-12-11	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C 16/27 申请公布日:20170517
2017-05-17	公开	公开

共 50 条

[1]

一种用于MOCVD的金属有机源掺杂装置 [P].

绳瑞达 ;

李烈军 ;

彭继华 ;

高吉祥 .

中国专利 :CN206562453U ,2017-10-17

[2]

一种基于MOCVD设备的金属有机源输送管道系统 [P].

邬元杰 ;

时浩泽 ;

李东昇 ;

操晓敏 ;

芦佳 ;

张燕平 .

中国专利 :CN215050677U ,2021-12-07

[3]

一种金属有机源加料装置 [P].

刘祥林 .

中国专利 :CN105401133A ,2016-03-16

[4]

一种金属有机源加料装置 [P].

刘祥林 .

中国专利 :CN204080103U ,2015-01-07

[5]

基于MOCVD的有机源装置 [P].

刘恒山 ;

刘慰华 ;

冯猛 ;

陈伟 .

中国专利 :CN205223347U ,2016-05-11

[6]

一种用于装填固态金属有机源的钢瓶 [P].

陈鹏 ;

王伟 ;

郑述安 .

中国专利 :CN218237058U ,2023-01-06

[7]

一种基于金属有机源焊接的方法 [P].

王春成 ;

王振峰 ;

刘青松 .

中国专利 :CN117059503B ,2024-04-02

[8]

一种用于MOCVD有机源系统的液体缓冲装置 [P].

陈玉雷 ;

金艳营 ;

杨柳春 ;

包颖 ;

张国栋 .

中国专利 :CN223276455U ,2025-08-29

[9]

一种用于装填固态金属有机源的专用钢瓶 [P].

俞冬雷 ;

王伟 ;

徐昕 .

中国专利 :CN207230150U ,2018-04-13

[10]

一种用于装填固态金属有机源的专用钢瓶 [P].

俞冬雷 ;

王伟 ;

徐昕 .

中国专利 :CN107477351A ,2017-12-15

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