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半导体器件的制作方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201110152390.0
申请日：
2011-06-08
公开(公告)号：
CN102820385B
公开(公告)日：
2012-12-12
发明(设计)人：
谢红梅
刘煊杰
申请人：
申请人地址：
201203 上海市浦东新区张江路18号
IPC主分类号：
H01L3300
IPC分类号：
H01L21265
B81C100
代理机构：
北京市磐华律师事务所 11336
代理人：
董巍;顾珊
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2012-12-12 | 公开 | 公开 |
| 2015-04-01 | 授权 | 授权 |
| 2013-01-30 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 专利申请号:2011101523900 申请日:20110608 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101389918413 IPC(主分类):H01L 33/00 |