一种ITO薄膜的制备方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201310260388.4
申请日
2013-06-26
公开(公告)号
CN103325859B
公开(公告)日
2013-09-25
发明(设计)人
徐东 徐永清 石佳光
申请人
申请人地址
518000 广东省深圳市宝安区宝安九区宝民一路广场大厦13楼
IPC主分类号
H01L310224
IPC分类号
H01L3118
代理机构
深圳中一专利商标事务所 44237
代理人
张全文
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
一种ITO薄膜的制备方法 [P]. 
徐东 ;
任昌义 .
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[2]
一种银掺杂ITO薄膜的制备方法 [P]. 
徐东 ;
徐永清 ;
石佳光 .
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[3]
一种取向ITO薄膜的制备方法 [P]. 
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高赟 ;
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[4]
ITO薄膜的制备方法 [P]. 
崔鸽 ;
洪承健 ;
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董刚强 ;
郁操 ;
徐希翔 ;
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[5]
一种ITO薄膜制备方法及ITO薄膜 [P]. 
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康龙 ;
董国庆 ;
文国昇 ;
金从龙 .
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[6]
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[7]
ITO薄膜的制备方法及ITO薄膜 [P]. 
刘玉华 ;
方凤军 .
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[8]
一种促进ITO室温晶化的ITO薄膜制备方法 [P]. 
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向田 ;
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[9]
一种ITO薄膜的制备方法 [P]. 
杨圣合 .
中国专利 :CN113445000A ,2021-09-28
[10]
一种ITO薄膜的制备方法 [P]. 
岳笑一 ;
李丽辉 ;
高燕梅 ;
郭思哲 ;
王莉 ;
丁祥高 ;
肖蘅 ;
双凡 ;
王景 .
中国专利 :CN105951046A ,2016-09-21