一种促进ITO室温晶化的ITO薄膜制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510341735.9

申请日：

2025-03-21

公开(公告)号：

CN120193240A

公开(公告)日：

2025-06-24

发明(设计)人：

刘冬华冯益向田刘涛

申请人：

电子科技大学

申请人地址：

611731 四川省成都市高新区（西区）西源大道2006号

IPC主分类号：

C23C14/35

IPC分类号：

C23C14/08 C23C14/02

代理机构：

电子科技大学专利中心 51203

代理人：

余涛

法律状态：

公开

国省代码：

江苏省常州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-06-24	公开	公开
2025-07-11	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/35申请日:20250321

共 50 条

[1]

ITO薄膜的制备方法及ITO薄膜 [P].

刘玉华 ;

方凤军 .

中国专利 :CN104109839A ,2014-10-22

[2]

ITO薄膜的制备方法及ITO薄膜 [P].

刘玉华 ;

方凤军 .

中国专利 :CN104109838A ,2014-10-22

[3]

一种ITO薄膜制备方法及ITO薄膜 [P].

李文浩 ;

康龙 ;

董国庆 ;

文国昇 ;

金从龙 .

中国专利 :CN118932285A ,2024-11-12

[4]

一种ITO薄膜的制备方法 [P].

徐东 ;

任昌义 .

中国专利 :CN104318983A ,2015-01-28

[5]

一种ITO薄膜的制备方法 [P].

徐东 ;

徐永清 ;

石佳光 .

中国专利 :CN103325859B ,2013-09-25

[6]

ITO薄膜制备方法 [P].

谭时雨 ;

周剑飞 ;

李宏建 ;

夏辉 .

中国专利 :CN108109722A ,2018-06-01

[7]

ITO薄膜的制备方法 [P].

田立飞 .

中国专利 :CN104651785A ,2015-05-27

[8]

ITO薄膜的制备方法 [P].

崔鸽 ;

洪承健 ;

何永才 ;

董刚强 ;

郁操 ;

徐希翔 ;

李沅民 .

中国专利 :CN108048796A ,2018-05-18

[9]

一种ITO/Ag/ITO薄膜结构的制备方法 [P].

陈溢杭 ;

郭志达 ;

董剑楠 ;

吴栋 ;

张飞连 .

中国专利 :CN115505875B ,2024-06-04

[10]

一种ITO/Ag/ITO薄膜结构的制备方法 [P].

陈溢杭 ;

郭志达 ;

董剑楠 ;

吴栋 ;

张飞连 .

中国专利 :CN115505875A ,2022-12-23

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