真空处理系统及操作真空处理系统的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201880007953.7

申请日：

2018-03-09

公开(公告)号：

CN110612362A

公开(公告)日：

2019-12-24

发明(设计)人：

塞巴斯蒂安·巩特尔·臧于尔根·亨里奇安德烈亚斯·索尔

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

C23C1456

IPC分类号：

C23C1404 C23C1604 C23C1654 H01L2167 H01L21677

代理机构：

北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006

代理人：

徐金国;赵静

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-04-05	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C23C 14/56 申请公布日:20191224
2020-01-17	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/56 申请日:20180309
2019-12-24	公开	公开

共 50 条

[1]

真空处理系统以及操作真空处理系统的方法 [P].

斯蒂芬·班格特 ;

沃尔夫冈·布什贝克 ;

托马斯·伯杰 .

中国专利 :CN110651361A ,2020-01-03

[2]

操作真空处理系统的方法 [P].

塞巴斯蒂安·巩特尔·臧 ;

安德烈亚斯·索尔 .

中国专利 :CN110234792A ,2019-09-13

[3]

真空处理装置、真空处理系统和真空处理方法 [P].

山岸孝幸 ;

小林民宏 .

中国专利 :CN110610873B ,2019-12-24

[4]

真空处理系统 [P].

宫下哲也 ;

多田宪伦 .

中国专利 :CN101688303A ,2010-03-31

[5]

真空处理系统 [P].

王天邻 ;

谢斌平 ;

陈飞 ;

陈志刚 .

中国专利 :CN222961529U ,2025-06-10

[6]

真空处理系统 [P].

胡兵 ;

吴红星 ;

周艳 ;

王谦 .

中国专利 :CN103199034B ,2013-07-10

[7]

真空处理系统 [P].

胡兵 ;

吴红星 .

中国专利 :CN201966237U ,2011-09-07

[8]

真空处理装置、真空处理系统和处理方法 [P].

南雅人 ;

佐佐木芳彦 ;

佐佐木和男 .

中国专利 :CN101752173A ,2010-06-23

[9]

真空处理系统、真空处理系统上使用的缓冲模块及真空处理系统的托盘传送方法 [P].

李珠熙 ;

车根洙 ;

梁孝诚 ;

陈尚祐 .

中国专利 :CN102037551B ,2011-04-27

[10]

污水真空处理系统 [P].

董兆力 .

中国专利 :CN201538731U ,2010-08-04

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