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半导体材料表面瑕疵检测设备
被引：0
专利类型：
外观设计
申请号：
CN202130654017.X
申请日：
2021-09-30
公开(公告)号：
CN307087845S
公开(公告)日：
2022-01-28
发明(设计)人：
张腾
申请人：
申请人地址：
519000 广东省珠海市高新区唐家湾镇科技七路一号2栋402E单元
IPC主分类号：
1005
IPC分类号：
代理机构：
广州汇航专利代理事务所(普通合伙) 44537
代理人：
张静
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-01-28 | 授权 | 授权 |