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一种表面瑕疵检测设备及用于半导体加热盘的检测方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202511292651.7
申请日：
2025-09-11
公开(公告)号：
CN120831358A
公开(公告)日：
2025-10-24
发明(设计)人：
赵哲龙
黎力波
申请人：
爱利彼半导体设备（上海）有限公司
申请人地址：
200120 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区两港大道6288号1幢1层
IPC主分类号：
G01N21/88
IPC分类号：
G01N21/01
G01B11/16
B25B11/00
B08B1/12
B08B1/32
代理机构：
苏州市知腾专利代理事务所(普通合伙) 32632
代理人：
柏琳容
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-10-24 | 公开 | 公开 |
| 2025-11-25 | 授权 | 授权 |
| 2025-11-11 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):G01N 21/88申请日:20250911 |