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一种半导体加热盘质量检测装置及检测方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202510430466.3
申请日：
2025-04-08
公开(公告)号：
CN119936548B
公开(公告)日：
2025-07-15
发明(设计)人：
郭高朋
常强
申请人：
爱利彼半导体设备（上海）有限公司
申请人地址：
200120 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区两港大道6288号1幢1层
IPC主分类号：
G01R31/00
IPC分类号：
代理机构：
苏州市知腾专利代理事务所(普通合伙) 32632
代理人：
付应龙
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-05-23 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):G01R 31/00申请日:20250408 |
| 2025-05-06 | 公开 | 公开 |
| 2025-07-15 | 授权 | 授权 |