一种半导体外延生长结构

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201120544059.9
申请日
2011-12-22
公开(公告)号
CN202513198U
公开(公告)日
2012-10-31
发明(设计)人
周志文 张卫丰 王新中
申请人
申请人地址
518029 广东省深圳市泥岗西路1068号
IPC主分类号
H01L3304
IPC分类号
H01L3316 H01L2906
代理机构
深圳市顺天达专利商标代理有限公司 44217
代理人
易钊
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
半导体外延生长衬底 [P]. 
彭晖 .
中国专利 :CN203085624U ,2013-07-24
[2]
半导体外延结构和半导体外延生长方法 [P]. 
张海林 ;
陈龙 ;
刘庆波 ;
黎子兰 .
中国专利 :CN120187055A ,2025-06-20
[3]
半导体外延生长用托盘 [P]. 
马爽 ;
种涞源 ;
韩景瑞 ;
李云廷 ;
丁雄傑 ;
杨旭腾 ;
李锡光 .
中国专利 :CN217399044U ,2022-09-09
[4]
半导体外延生长的前驱体封装容器及半导体外延生长系统 [P]. 
闫其昂 ;
王国斌 ;
周溯沅 .
中国专利 :CN217266141U ,2022-08-23
[5]
半导体外延生长衬底 [P]. 
彭晖 .
中国专利 :CN102856451A ,2013-01-02
[6]
半导体外延生长设备 [P]. 
曾强 ;
查恒 ;
卞达开 ;
罗际蔚 .
中国专利 :CN117802577B ,2024-08-06
[7]
半导体外延生长设备 [P]. 
曾强 ;
查恒 ;
卞达开 ;
罗际蔚 .
中国专利 :CN117802577A ,2024-04-02
[8]
半导体外延结构 [P]. 
魏洋 ;
范守善 .
中国专利 :CN102723406B ,2012-10-10
[9]
一种半导体外延生长用承载盘 [P]. 
梁瑞 ;
黄海林 ;
冯淦 ;
赵建辉 .
中国专利 :CN215856451U ,2022-02-18
[10]
一种用于半导体外延生长的托盘 [P]. 
刘文广 .
中国专利 :CN221226182U ,2024-06-25