一种硅片高效扩散炉

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610387442.5

申请日：

2016-06-01

公开(公告)号：

CN105908261B

公开(公告)日：

2016-08-31

发明(设计)人：

周士杰陈圣铁

申请人：

申请人地址：

325000 浙江省温州市经济技术开发区滨海十二路４８０号二幢二楼

IPC主分类号：

C30B3118

IPC分类号：

代理机构：

上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218

代理人：

翟羽

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-09-28	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101680681659 IPC(主分类):C30B 31/18 专利申请号:2016103874425 申请日:20160601
2016-08-31	公开	公开
2021-05-14	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C30B 31/18 申请日:20160601 授权公告日:20180518 终止日期:20200601
2018-05-18	授权	授权

共 50 条

[1]

一种硅片高效扩散炉 [P].

周士杰 ;

陈圣铁 .

中国专利 :CN205774934U ,2016-12-07

[2]

一种硅片扩散炉 [P].

方结彬 ;

班群 ;

康凯 ;

陈刚 .

中国专利 :CN202465957U ,2012-10-03

[3]

一种硅片扩散炉 [P].

方结彬 ;

林纲正 ;

赖俊文 ;

秦崇德 ;

何达能 ;

陈刚 .

中国专利 :CN207320148U ,2018-05-04

[4]

一种硅片扩散炉 [P].

郭城 ;

吕明 ;

李充 ;

王永超 .

中国专利 :CN216514265U ,2022-05-13

[5]

一种半导体硅片的石英扩散炉 [P].

汤芳 ;

常永喜 ;

张勇 ;

孙秋谨 .

中国专利 :CN118263162A ,2024-06-28

[6]

一种半导体硅片的石英扩散炉 [P].

汤芳 ;

常永喜 ;

张勇 ;

孙秋谨 .

中国专利 :CN118263162B ,2024-08-27

[7]

一种立式硅片扩散炉 [P].

高鹏 ;

刘阳 ;

徐晋勇 ;

唐焱 ;

张斌 ;

孙宁 ;

陈金龙 ;

高成 ;

刘栋 ;

黄伟 .

中国专利 :CN206219721U ,2017-06-06

[8]

一种太阳能硅片扩散炉 [P].

李春强 ;

郑安 ;

柳渊博 ;

吕海强 .

中国专利 :CN203250776U ,2013-10-23

[9]

一种扩散均匀且高效的扩散炉 [P].

吕志红 ;

王银庆 .

中国专利 :CN223280976U ,2025-08-29

[10]

一种扩散炉 [P].

李苗苗 .

中国专利 :CN212934644U ,2021-04-09

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