一种硅片扩散炉

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201721155985.0

申请日：

2017-09-11

公开(公告)号：

CN207320148U

公开(公告)日：

2018-05-04

发明(设计)人：

方结彬林纲正赖俊文秦崇德何达能陈刚

申请人：

申请人地址：

322009 浙江省金华市义乌市苏溪镇苏福路126号

IPC主分类号：

H01L3118

IPC分类号：

H01L2167 H01L21223

代理机构：

广州三环专利商标代理有限公司 44202

代理人：

胡枫

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-05-04	授权	授权

共 50 条

[1]

一种硅片扩散炉 [P].

方结彬 ;

班群 ;

康凯 ;

陈刚 .

中国专利 :CN202465957U ,2012-10-03

[2]

一种立式硅片扩散炉 [P].

高鹏 ;

刘阳 ;

徐晋勇 ;

唐焱 ;

张斌 ;

孙宁 ;

陈金龙 ;

高成 ;

刘栋 ;

黄伟 .

中国专利 :CN206219721U ,2017-06-06

[3]

一种硅片扩散炉 [P].

郭城 ;

吕明 ;

李充 ;

王永超 .

中国专利 :CN216514265U ,2022-05-13

[4]

一种硅片高效扩散炉 [P].

周士杰 ;

陈圣铁 .

中国专利 :CN205774934U ,2016-12-07

[5]

一种硅片加热扩散炉 [P].

赵阿强 .

中国专利 :CN207596995U ,2018-07-10

[6]

晶体硅硅片扩散炉 [P].

袁晓 ;

李红波 ;

吴庭谷 .

中国专利 :CN200964448Y ,2007-10-24

[7]

一种硅片高效扩散炉 [P].

周士杰 ;

陈圣铁 .

中国专利 :CN105908261B ,2016-08-31

[8]

一种太阳能硅片扩散炉 [P].

李春强 ;

郑安 ;

柳渊博 ;

吕海强 .

中国专利 :CN203250776U ,2013-10-23

[9]

一种硅片扩散炉持续供气系统 [P].

章士龙 ;

周炳 .

中国专利 :CN217280698U ,2022-08-23

[10]

一种扩散炉 [P].

杨健 ;

费正洪 .

中国专利 :CN209636370U ,2019-11-15

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