一种硅片加热扩散炉

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201721467033.2

申请日：

2017-11-06

公开(公告)号：

CN207596995U

公开(公告)日：

2018-07-10

发明(设计)人：

赵阿强

申请人：

申请人地址：

409100 重庆市石柱土家族自治县下路镇柏树村

IPC主分类号：

C30B3102

IPC分类号：

C30B2906

代理机构：

深圳市兴科达知识产权代理有限公司 44260

代理人：

贾庆

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-07-10	授权	授权

共 50 条

[1]

一种硅片加热扩散炉 [P].

赵阿强 .

中国专利 :CN107604444A ,2018-01-19

[2]

一种硅片扩散炉 [P].

方结彬 ;

班群 ;

康凯 ;

陈刚 .

中国专利 :CN202465957U ,2012-10-03

[3]

一种硅片扩散炉 [P].

方结彬 ;

林纲正 ;

赖俊文 ;

秦崇德 ;

何达能 ;

陈刚 .

中国专利 :CN207320148U ,2018-05-04

[4]

一种硅片扩散炉 [P].

郭城 ;

吕明 ;

李充 ;

王永超 .

中国专利 :CN216514265U ,2022-05-13

[5]

一种立式硅片扩散炉 [P].

高鹏 ;

刘阳 ;

徐晋勇 ;

唐焱 ;

张斌 ;

孙宁 ;

陈金龙 ;

高成 ;

刘栋 ;

黄伟 .

中国专利 :CN206219721U ,2017-06-06

[6]

一种硅片高效扩散炉 [P].

周士杰 ;

陈圣铁 .

中国专利 :CN205774934U ,2016-12-07

[7]

一种MF加热扩散设备 [P].

邵烙华 .

中国专利 :CN206956181U ,2018-02-02

[8]

一种用于扩散炉的加热装置及保温扩散炉系统 [P].

沈波涛 ;

杨健 ;

党纪东 .

中国专利 :CN206558484U ,2017-10-13

[9]

晶体硅硅片扩散炉 [P].

袁晓 ;

李红波 ;

吴庭谷 .

中国专利 :CN200964448Y ,2007-10-24

[10]

一种具有气氛保护的热扩散炉 [P].

程冠博 ;

吴晓玲 ;

殷闽 ;

程俊杰 ;

黄陈 .

中国专利 :CN220450334U ,2024-02-06

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