硅岛结构及其制作方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201810968228.8
申请日
2018-08-23
公开(公告)号
CN110858561A
公开(公告)日
2020-03-03
发明(设计)人
蒲甜松 李庆民 陈信全
申请人
申请人地址
230012 安徽省合肥市新站区综合保税区内西淝河路88号
IPC主分类号
H01L21762
IPC分类号
代理机构
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237
代理人
郑星
法律状态
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国省代码
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共 50 条
[1]
绝缘体上硅结构及其制作方法 [P]. 
周洁鹏 ;
贡祎琪 .
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[2]
一种硅纳米孔结构及其制作方法 [P]. 
袁志山 ;
王成勇 .
中国专利 :CN107416762A ,2017-12-01
[3]
硅基光波导结构及其制作方法 [P]. 
盛振 ;
武爱民 ;
仇超 ;
赵瑛璇 ;
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[4]
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顿鹏翔 ;
黄翊东 ;
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崔开宇 .
中国专利 :CN111679363B ,2020-09-18
[5]
硅基光波导结构及其制作方法 [P]. 
盛振 ;
武爱民 ;
仇超 ;
赵瑛璇 ;
高腾 ;
甘甫烷 ;
王曦 .
中国专利 :CN108873161A ,2018-11-23
[6]
硅腔结构制作方法以及硅腔结构 [P]. 
周海锋 .
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[7]
绝缘体上硅结构及其制作方法 [P]. 
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[8]
硅衬底GaN基LED结构及其制作方法 [P]. 
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孙夕庆 .
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[9]
多晶硅高阻结构及其制作方法 [P]. 
不公告发明人 .
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[10]
穿透硅通孔结构制作方法 [P]. 
王坚 ;
贾照伟 ;
金一诺 ;
王晖 .
中国专利 :CN104143526B ,2014-11-12