硅基光波导结构及其制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710340735.2

申请日：

2017-05-15

公开(公告)号：

CN108873161A

公开(公告)日：

2018-11-23

发明(设计)人：

盛振武爱民仇超赵瑛璇高腾甘甫烷王曦

申请人：

申请人地址：

201800 上海市嘉定区菊园新区环城路2222号1幢1048室

IPC主分类号：

G02B6122

IPC分类号：

G02B6136

代理机构：

上海光华专利事务所(普通合伙) 31219

代理人：

罗泳文

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-06-05	授权	授权
2022-11-08	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):G02B 6/122 登记生效日:20221027 变更事项:专利权人变更前权利人:上海新微科技服务有限公司变更后权利人:上海新微技术研发中心有限公司变更事项:地址变更前权利人:201800 上海市嘉定区菊园新区环城路2222号1幢1048室变更后权利人:201808 上海市嘉定区菊园新区胜竹路1399号2幢9层930室
2018-11-23	公开	公开
2018-12-18	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G02B 6/122 申请日:20170515

共 50 条

[1]

硅基光波导结构及其制作方法 [P].

盛振 ;

武爱民 ;

仇超 ;

赵瑛璇 ;

高腾 ;

甘甫烷 ;

王曦 .

中国专利 :CN108873167B ,2018-11-23

[2]

选择性外延硅基脊型光波导及制作方法 [P].

杨荣 ;

王百钱 ;

余明斌 .

中国专利 :CN117741860A ,2024-03-22

[3]

光波导、光波导模块以及光波导的制作方法 [P].

森本政仁 ;

筱田正雄 .

中国专利 :CN1973221B ,2007-05-30

[4]

硅基光波导器件的制造方法 [P].

张鹏 ;

唐波 ;

李志华 ;

李彬 ;

刘若男 .

中国专利 :CN111077607B ,2020-04-28

[5]

光波导结构的制作方法、光波导结构及显示设备 [P].

谭伟 ;

熊雯 .

中国专利 :CN120370470A ,2025-07-25

[6]

一种硅基光波导间高效耦合结构及制作方法 [P].

顾晓文 ;

牛斌 .

中国专利 :CN106680935A ,2017-05-17

[7]

光波导结构及其制备方法 [P].

赵晋 ;

梁周生 ;

赖嘉杰 ;

徐松 ;

周兴 .

中国专利 :CN119738908A ,2025-04-01

[8]

光波导的制作方法 [P].

J·P·德雷克 .

中国专利 :CN1330772A ,2002-01-09

[9]

一种硅基光波导传感器及其制备方法 [P].

李寒月 ;

武爱民 ;

吴龙生 ;

周悦 ;

张轶锦 .

中国专利 :CN113093331A ,2021-07-09

[10]

一种非晶硅光波导的制作方法及非晶硅光波导 [P].

杨荣 ;

王庆 ;

余明斌 .

中国专利 :CN117724207B ,2024-04-30

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