一种硅基光波导传感器及其制备方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202110235407.2
申请日
2021-03-03
公开(公告)号
CN113093331A
公开(公告)日
2021-07-09
发明(设计)人
李寒月 武爱民 吴龙生 周悦 张轶锦
申请人
申请人地址
200050 上海市长宁区长宁路865号
IPC主分类号
G02B6124
IPC分类号
G02B6136 G02B6138
代理机构
上海泰能知识产权代理事务所(普通合伙) 31233
代理人
魏峯
法律状态
实质审查的生效
国省代码
引用
下载
收藏
共 50 条
[1]
一种硅基光波导偏振转换器及其制备方法 [P]. 
王苗庆 .
中国专利 :CN103713357B ,2014-04-09
[2]
集成硅基光波导电场传感器结构及其制备方法 [P]. 
路永玲 ;
孙蓉 ;
朱雪琼 ;
付慧 ;
杨景刚 ;
胡成博 ;
黄强 ;
李群 ;
李双伟 ;
张兴辉 ;
陈杰 ;
邵剑 ;
刘子全 ;
王真 ;
贾骏 ;
薛海 ;
刘征宇 ;
胡妍捷 .
中国专利 :CN119064684A ,2024-12-03
[3]
光波导及其传感器 [P]. 
梁华伟 ;
阮双琛 ;
张敏 ;
苏红 ;
李玲 .
中国专利 :CN204631285U ,2015-09-09
[4]
一种硅基光波导偏振转换器 [P]. 
王苗庆 .
中国专利 :CN203673098U ,2014-06-25
[5]
一种光波导及其传感器 [P]. 
梁华伟 ;
阮双琛 ;
张敏 ;
苏红 ;
李玲 .
中国专利 :CN104407414B ,2015-03-11
[6]
一种新型硅基光波导加速度传感器 [P]. 
黄庆举 .
中国专利 :CN102236029A ,2011-11-09
[7]
硅基光波导结构及其制作方法 [P]. 
盛振 ;
武爱民 ;
仇超 ;
赵瑛璇 ;
高腾 ;
甘甫烷 ;
王曦 .
中国专利 :CN108873161A ,2018-11-23
[8]
光波导生物化学传感器及其制备方法 [P]. 
荣国光 ;
潘胜非 ;
祝永新 .
中国专利 :CN102410991A ,2012-04-11
[9]
光波导免疫传感器及其检测方法 [P]. 
王帆 ;
崔锦江 ;
姜琛昱 ;
王策 ;
檀慧明 .
中国专利 :CN101846674B ,2010-09-29
[10]
硅基光波导结构及其制作方法 [P]. 
盛振 ;
武爱民 ;
仇超 ;
赵瑛璇 ;
高腾 ;
甘甫烷 ;
王曦 .
中国专利 :CN108873167B ,2018-11-23