一种非晶硅光波导的制作方法及非晶硅光波导

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410179273.0

申请日：

2024-02-18

公开(公告)号：

CN117724207B

公开(公告)日：

2024-04-30

发明(设计)人：

杨荣王庆余明斌

申请人：

上海铭锟半导体有限公司

申请人地址：

200120 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区环湖西二路888号C楼

IPC主分类号：

G02B6/13

IPC分类号：

G02B6/136

代理机构：

成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214

代理人：

黎飞

法律状态：

公开

国省代码：

上海市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-03-19	公开	公开
2024-04-30	授权	授权
2024-04-05	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G02B 6/13申请日:20240218

共 50 条

[1]

一种非晶硅光波导的制作方法及非晶硅光波导 [P].

杨荣 ;

王庆 ;

余明斌 .

中国专利 :CN117724207A ,2024-03-19

[2]

硅基光波导结构及其制作方法 [P].

盛振 ;

武爱民 ;

仇超 ;

赵瑛璇 ;

高腾 ;

甘甫烷 ;

王曦 .

中国专利 :CN108873161A ,2018-11-23

[3]

纳米压印模板制备方法、光波导制备方法及硅光波导 [P].

张哲炜 ;

杨海波 ;

黄河 ;

刘鹏 ;

徐怀宇 .

中国专利 :CN118363259A ,2024-07-19

[4]

玻璃上的硅光波导材料及其制作方法 [P].

王跃林 ;

王文辉 ;

李铁 ;

杨艺榕 .

中国专利 :CN1102540C ,2000-11-29

[5]

非晶硅TFT基板的制作方法 [P].

刘广辉 .

中国专利 :CN108735664A ,2018-11-02

[6]

一种玻璃光波导的制作方法 [P].

吴亚明 ;

郝寅雷 .

中国专利 :CN1719291A ,2006-01-11

[7]

选择性外延硅基脊型光波导及制作方法 [P].

杨荣 ;

王百钱 ;

余明斌 .

中国专利 :CN117741860A ,2024-03-22

[8]

兼容CMOS工艺的硅光波导制备方法 [P].

杨建义 ;

肖司淼 ;

郑伟伟 ;

江晓清 ;

郝寅雷 ;

周强 ;

李锡华 ;

王明华 .

中国专利 :CN101013181A ,2007-08-08

[9]

非晶硅晶化设备及方法 [P].

郑义振 ;

金东范 ;

李秀卿 ;

姜明求 ;

金县裁 .

中国专利 :CN100437940C ,2006-03-29

[10]

一种ALD制作非晶硅的方法 [P].

欧文凯 .

中国专利 :CN111816735A ,2020-10-23

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