硅基光波导器件的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201911398161.X

申请日：

2019-12-30

公开(公告)号：

CN111077607B

公开(公告)日：

2020-04-28

发明(设计)人：

张鹏唐波李志华李彬刘若男

申请人：

申请人地址：

100029 北京市朝阳区北土城西路3号

IPC主分类号：

G02B612

IPC分类号：

G02B6136

代理机构：

北京华沛德权律师事务所 11302

代理人：

房德权

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-01-11	授权	授权
2020-04-28	公开	公开
2020-05-22	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G02B 6/12 申请日:20191230

共 50 条

[1]

半导体硅基光波导器件及其制备方法 [P].

孙喆禹 ;

邢文超 ;

孙宣 ;

夏忠财 ;

杨寿国 .

中国专利 :CN109669237A ,2019-04-23

[2]

光波导器件以及光波导器件的制造方法 [P].

小野位 .

中国专利 :CN101243341A ,2008-08-13

[3]

光波导器件的制造方法和光波导器件 [P].

黑田敏裕 ;

近藤圆华 .

中国专利 :CN1639599A ,2005-07-13

[4]

光波导器件和光波导器件的制造方法 [P].

渡边真也 .

中国专利 :CN102193144A ,2011-09-21

[5]

光波导器件以及光波导器件的制造方法 [P].

小野位 .

中国专利 :CN101243339A ,2008-08-13

[6]

光波导器件的制造方法 [P].

俞炳权 ;

李炯宰 ;

李泰衡 ;

李勇雨 .

中国专利 :CN1194381A ,1998-09-30

[7]

光波导器件、电子器件以及光波导器件的制造方法 [P].

青木重宪 .

中国专利 :CN102207581A ,2011-10-05

[8]

硅基光波导结构及其制作方法 [P].

盛振 ;

武爱民 ;

仇超 ;

赵瑛璇 ;

高腾 ;

甘甫烷 ;

王曦 .

中国专利 :CN108873167B ,2018-11-23

[9]

硅基光波导结构及其制作方法 [P].

盛振 ;

武爱民 ;

仇超 ;

赵瑛璇 ;

高腾 ;

甘甫烷 ;

王曦 .

中国专利 :CN108873161A ,2018-11-23

[10]

光波导器件及其制造方法 [P].

渡边真也 ;

栗原充 .

中国专利 :CN101271175A ,2008-09-24

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