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一种超小模体积回音壁模式微腔器件
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202110645824.4
申请日：
2021-06-09
公开(公告)号：
CN113594850B
公开(公告)日：
2021-11-02
发明(设计)人：
陈波
刘卓俊
李学诗
黄培年
刘进
申请人：
申请人地址：
510275 广东省广州市海珠区新港西路135号
IPC主分类号：
H01S510
IPC分类号：
H01S5065
代理机构：
广州粤高专利商标代理有限公司 44102
代理人：
王锦霞
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-08-02 | 授权 | 授权 |
| 2021-11-19 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01S 5/10 申请日:20210609 |
| 2021-11-02 | 公开 | 公开 |