光照射装置和光照射方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110222281.1

申请日：

2011-08-04

公开(公告)号：

CN102419516A

公开(公告)日：

2012-04-18

发明(设计)人：

仲田重范川村直树

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G02B530

代理机构：

永新专利商标代理有限公司 72002

代理人：

夏斌;陈萍

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-01-28	授权	授权
2013-06-12	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101470321853 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2011102222811 申请日:20110804
2012-04-18	公开	公开

共 50 条

[1]

光照射装置和光照射方法 [P].

山川明朗 ;

田中健二 ;

伊藤辉将 .

中国专利 :CN101783150B ,2010-07-21

[2]

光照射装置和光照射方法 [P].

泷口优 .

中国专利 :CN106687852A ,2017-05-17

[3]

光照射装置和光照射方法 [P].

小田晃司 .

中国专利 :CN115701368A ,2023-02-10

[4]

光照射装置、光照射方法 [P].

信田和彦 .

中国专利 :CN110536873A ,2019-12-03

[5]

光照射装置的光照射方法以及光照射装置 [P].

远藤茂 ;

羽田野宪彦 ;

门胁徹二 .

中国专利 :CN101978308A ,2011-02-16

[6]

光照射装置及光照射方法 [P].

信田和彦 ;

中岛敏博 .

中国专利 :CN108367976B ,2018-08-03

[7]

光照射装置以及光照射方法 [P].

丸山健治 ;

末兼大輔 ;

稲尾吉浩 .

日本专利 :CN118550161A ,2024-08-27

[8]

光照射装置、及光照射方法 [P].

森淳 ;

井口胜次 ;

青木仁志 ;

森田明理 ;

益田秀之 ;

木村诚 .

中国专利 :CN112020379A ,2020-12-01

[9]

光照射装置及光照射方法 [P].

小林贤治 .

中国专利 :CN102056658B ,2011-05-11

[10]

光照射装置、光照射方法[ja] [P].

日本专利 :JP6984187B2 ,2021-12-17

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