光照射装置及光照射方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200980122247.8

申请日：

2009-05-22

公开(公告)号：

CN102056658B

公开(公告)日：

2011-05-11

发明(设计)人：

小林贤治

申请人：

申请人地址：

日本国东京都

IPC主分类号：

B01J1912

IPC分类号：

H01L21301

代理机构：

上海金盛协力知识产权代理有限公司 31242

代理人：

段迎春

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-06-29	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101081907502 IPC(主分类):B01J 19/12 专利申请号:2009801222478 申请日:20090522
2013-12-04	授权	授权
2011-05-11	公开	公开

共 50 条

[1]

光照射装置 [P].

竹内顺一 .

中国专利 :CN101587828A ,2009-11-25

[2]

光照射装置及光照射方法 [P].

细谷浩二 .

中国专利 :CN103658111A ,2014-03-26

[3]

光照射装置及光照射方法 [P].

信田和彦 ;

中岛敏博 .

中国专利 :CN108367976B ,2018-08-03

[4]

光照射装置、及光照射方法 [P].

森淳 ;

井口胜次 ;

青木仁志 ;

森田明理 ;

益田秀之 ;

木村诚 .

中国专利 :CN112020379A ,2020-12-01

[5]

光照射装置、及光照射方法 [P].

新井敏成 ;

桥本和重 .

中国专利 :CN111164502A ,2020-05-15

[6]

光照射装置及光照射方法 [P].

石井一正 .

日本专利 :CN112987412B ,2024-02-13

[7]

光照射装置及光照射方法 [P].

堀田慎 ;

月原浩一 ;

大岛朗文 ;

水泽卓 ;

阿部正昭 .

中国专利 :CN1735961A ,2006-02-15

[8]

光照射装置及光照射方法 [P].

石井一正 .

中国专利 :CN112987412A ,2021-06-18

[9]

光照射装置、光照射方法 [P].

信田和彦 .

中国专利 :CN110536873A ,2019-12-03

[10]

光照射装置的光照射方法以及光照射装置 [P].

远藤茂 ;

羽田野宪彦 ;

门胁徹二 .

中国专利 :CN101978308A ,2011-02-16

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