光照射装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200910145380.7

申请日：

2009-05-18

公开(公告)号：

CN101587828A

公开(公告)日：

2009-11-25

发明(设计)人：

竹内顺一

申请人：

申请人地址：

日本国东京都板桥区本町23-23

IPC主分类号：

H01L2100

IPC分类号：

H01L21268 H01L2178

代理机构：

上海金盛协力知识产权代理有限公司

代理人：

段迎春

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-11-20	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101673862255 IPC(主分类):H01L 21/00 专利申请号:2009101453807 申请公布日:20091125
2009-11-25	公开	公开
2011-05-25	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101071688227 IPC(主分类):H01L 21/00 专利申请号:2009101453807 申请日:20090518

共 50 条

[1]

光照射装置及光照射方法 [P].

小林贤治 .

中国专利 :CN102056658B ,2011-05-11

[2]

光照射装置及光照射方法 [P].

细谷浩二 .

中国专利 :CN103658111A ,2014-03-26

[3]

光照射装置 [P].

门胁徹二 ;

大野琢也 ;

泽森朗 .

中国专利 :CN101464599A ,2009-06-24

[4]

光照射装置 [P].

紫藤和孝 .

中国专利 :CN104069998B ,2014-10-01

[5]

光照射模块、光照射装置 [P].

渡边浩明 .

日本专利 :CN118872082A ,2024-10-29

[6]

光照射装置的光照射方法以及光照射装置 [P].

远藤茂 ;

羽田野宪彦 ;

门胁徹二 .

中国专利 :CN101978308A ,2011-02-16

[7]

光照射装置、光照射方法 [P].

信田和彦 .

中国专利 :CN110536873A ,2019-12-03

[8]

光照射装置及光照射方法 [P].

信田和彦 ;

中岛敏博 .

中国专利 :CN108367976B ,2018-08-03

[9]

光照射装置以及光照射方法 [P].

丸山健治 ;

末兼大輔 ;

稲尾吉浩 .

日本专利 :CN118550161A ,2024-08-27

[10]

光照射装置、及光照射方法 [P].

森淳 ;

井口胜次 ;

青木仁志 ;

森田明理 ;

益田秀之 ;

木村诚 .

中国专利 :CN112020379A ,2020-12-01

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