一种镓掺杂氧化锌透明导电膜的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200510043865.7

申请日：

2005-06-21

公开(公告)号：

CN1718840A

公开(公告)日：

2006-01-11

发明(设计)人：

马瑾

申请人：

申请人地址：

250100山东省济南市历城区山大南路27号

IPC主分类号：

C23C1406

IPC分类号：

代理机构：

济南金迪知识产权代理有限公司

代理人：

宋永吉

法律状态：

专利权的终止(未缴年费专利权终止)

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2009-08-19	专利权的终止(未缴年费专利权终止)	专利权的终止(未缴年费专利权终止)
2006-03-08	实质审查的生效	实质审查的生效
2006-01-11	公开	公开
2008-01-23	授权	授权

共 50 条

[1]

镓掺杂氧化锌靶材及其透明导电膜的制备方法 [P].

曹永革 ;

黄常刚 ;

王美丽 ;

邓种华 .

中国专利 :CN102191466A ,2011-09-21

[2]

一种锑掺杂多元氧化物透明导电膜的制备方法 [P].

马瑾 ;

黄树来 ;

马洪磊 .

中国专利 :CN1600895A ,2005-03-30

[3]

一种铝掺杂氧化锌透明导电膜制备设备 [P].

朱华 ;

余石金 ;

祝志文 ;

郑元伟 ;

李禄孙 ;

王艳香 ;

李家科 ;

郭平春 ;

江和栋 .

中国专利 :CN117051386B ,2025-07-11

[4]

一种低铟掺杂量氧化锌透明导电膜及其制备方法 [P].

曹永革 ;

黄常刚 ;

王美丽 .

中国专利 :CN101834009B ,2010-09-15

[5]

一种掺杂氧化锌透明导电薄膜的制备方法 [P].

张发荣 ;

李建生 ;

王少杰 ;

刘建东 ;

李青超 ;

温子健 .

中国专利 :CN109360691A ,2019-02-19

[6]

铪掺杂氧化锌透明导电薄膜的制备方法 [P].

胡习光 ;

秦国强 ;

常金永 ;

张志祥 .

中国专利 :CN104060232A ,2014-09-24

[7]

氟掺杂氧化锌透明导电膜玻璃的生产方法 [P].

石丽芬 ;

彭寿 ;

金良茂 ;

王友乐 ;

甘治平 ;

王东 ;

陈凯 ;

张家林 ;

单传丽 ;

邹上荣 ;

陈琼 .

中国专利 :CN102249551A ,2011-11-23

[8]

一种生产氧化锌基透明导电膜玻璃的方法 [P].

彭寿 ;

王芸 ;

金良茂 ;

甘治平 ;

王东 ;

单传丽 ;

石丽芬 ;

王萍萍 ;

孙人杰 .

中国专利 :CN103803809A ,2014-05-21

[9]

氧化镓-氧化锌系溅射靶、透明导电膜的形成方法及透明导电膜 [P].

长田幸三 .

中国专利 :CN100549219C ,2008-06-25

[10]

氧化镓-氧化锌系溅射靶、透明导电膜的形成方法及透明导电膜 [P].

长田幸三 .

中国专利 :CN101208453B ,2008-06-25

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