一种锑掺杂多元氧化物透明导电膜的制备方法

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专利类型
发明
申请号
CN200410035913.3
申请日
2004-10-12
公开(公告)号
CN1600895A
公开(公告)日
2005-03-30
发明(设计)人
马瑾 黄树来 马洪磊
申请人
申请人地址
250100山东省济南市历城区山大南路27号
IPC主分类号
C23C1435
IPC分类号
C04B35453
代理机构
济南金海诺知识产权代理有限公司
代理人
周慰曾
法律状态
专利权的终止(未缴年费专利权终止)
国省代码
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共 50 条
[1]
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