一种常压等离子体自由基清洗设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201220139246.3

申请日：

2012-04-05

公开(公告)号：

CN203030580U

公开(公告)日：

2013-07-03

发明(设计)人：

贾少霞王守国杨景华赵玲利

申请人：

申请人地址：

100029 北京市朝阳区北土城西路3号

IPC主分类号：

B08B700

IPC分类号：

B08B1300 H01L2167 H01J3732

代理机构：

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法律状态：

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国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-07-03	授权	授权
2015-05-20	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101611010482 IPC(主分类):B08B 7/00 专利号:ZL2012201392463 申请日:20120405 授权公告日:20130703 终止日期:20140405

共 50 条

[1]

一种常压等离子体自由基清洗系统 [P].

王守国 ;

贾少霞 ;

赵玲利 ;

杨景华 .

中国专利 :CN103357619A ,2013-10-23

[2]

一种蜂窝状常压等离子体自由基清洗设备 [P].

王守国 ;

韩传宇 ;

张朝前 ;

赵玲利 .

中国专利 :CN202207679U ,2012-05-02

[3]

蜂窝形状等离子体自由基清洗系统 [P].

王守国 ;

韩传宇 ;

赵玲利 ;

张朝前 .

中国专利 :CN102310063A ,2012-01-11

[4]

一种新型的常压等离子体自由基清洗喷枪 [P].

王守国 ;

赵玲利 ;

贾少霞 ;

韩传宇 .

中国专利 :CN102891071A ,2013-01-23

[5]

常压等离子体自由基束流清洗硅片新方法 [P].

王守国 ;

赵玲利 ;

韩传余 ;

杨景华 ;

张朝前 .

中国专利 :CN102087487A ,2011-06-08

[6]

一种新型的常压等离子体自由基清洗喷枪进气方式 [P].

王守国 ;

贾少霞 ;

赵玲利 .

中国专利 :CN102931050B ,2013-02-13

[7]

一种常压等离子体清洗系统 [P].

白清顺 ;

关宇珩 ;

徐振东 .

中国专利 :CN111644427A ,2020-09-11

[8]

一种新型的水冷常压等离子体自由基清洗喷枪 [P].

王守国 ;

贾少霞 ;

赵玲利 .

中国专利 :CN102921674A ,2013-02-13

[9]

含有等离子体的自由基源 [P].

巴顿·莱恩 ;

彼得·文特泽克 .

日本专利 :CN112154528B ,2024-10-29

[10]

含有等离子体的自由基源 [P].

巴顿·莱恩 ;

彼得·文特泽克 .

中国专利 :CN112154528A ,2020-12-29

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