含有等离子体的自由基源

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201980029558.3

申请日：

2019-05-01

公开(公告)号：

CN112154528A

公开(公告)日：

2020-12-29

发明(设计)人：

巴顿·莱恩彼得·文特泽克

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

陈炜;李德山

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-05-25	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/32 申请日:20190501
2020-12-29	公开	公开

共 50 条

[1]

含有等离子体的自由基源 [P].

巴顿·莱恩 ;

彼得·文特泽克 .

日本专利 :CN112154528B ,2024-10-29

[2]

横向等离子体/自由基源 [P].

A·K·萨布莱曼尼 ;

K·甘加基德加 ;

A·乔杜里 ;

J·C·福斯特 ;

N·南塔瓦拉努 ;

K·贝拉 ;

P·A·克劳斯 ;

F·豪斯曼 .

中国专利 :CN106783499B ,2017-05-31

[3]

蜂窝形状等离子体自由基清洗系统 [P].

王守国 ;

韩传宇 ;

赵玲利 ;

张朝前 .

中国专利 :CN102310063A ,2012-01-11

[4]

等离子体源-自由基源自由切换的腔体及工艺 [P].

杨平 .

中国专利 :CN119811973A ,2025-04-11

[5]

远等离子体室清理中的自由基引发剂 [P].

齐宾 .

中国专利 :CN1891856A ,2007-01-10

[6]

一种常压等离子体自由基清洗设备 [P].

贾少霞 ;

王守国 ;

杨景华 ;

赵玲利 .

中国专利 :CN203030580U ,2013-07-03

[7]

一种常压等离子体自由基清洗系统 [P].

王守国 ;

贾少霞 ;

赵玲利 ;

杨景华 .

中国专利 :CN103357619A ,2013-10-23

[8]

用于产生等离子体和羟基自由基的灭菌设备 [P].

C·P·汉考克 ;

G·C·乌尔里克 ;

D·E·韦伯 .

中国专利 :CN115666663A ,2023-01-31

[9]

污水中注入等离子体自由基灭菌消毒的方法和装置 [P].

邓康 ;

胡小吐 ;

刘勇 .

中国专利 :CN102765787A ,2012-11-07

[10]

电感耦合等离子体（ICP）反应器的动态离子自由基筛与离子自由基孔 [P].

S·辛格 ;

G·J·斯科特 ;

A·库玛 .

中国专利 :CN103650118A ,2014-03-19

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