横向等离子体/自由基源

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201611028706.4

申请日：

2016-11-18

公开(公告)号：

CN106783499B

公开(公告)日：

2017-05-31

发明(设计)人：

A·K·萨布莱曼尼 K·甘加基德加 A·乔杜里 J·C·福斯特 N·南塔瓦拉努 K·贝拉 P·A·克劳斯 F·豪斯曼

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

C23C16455 C23C16505

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司 31100

代理人：

侯颖媖

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-05-31	公开	公开
2021-01-22	授权	授权
2018-11-13	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/32 申请日:20161118

共 50 条

[1]

含有等离子体的自由基源 [P].

巴顿·莱恩 ;

彼得·文特泽克 .

日本专利 :CN112154528B ,2024-10-29

[2]

含有等离子体的自由基源 [P].

巴顿·莱恩 ;

彼得·文特泽克 .

中国专利 :CN112154528A ,2020-12-29

[3]

等离子体源-自由基源自由切换的腔体及工艺 [P].

杨平 .

中国专利 :CN119811973A ,2025-04-11

[4]

电感耦合等离子体（ICP）反应器的动态离子自由基筛与离子自由基孔 [P].

S·辛格 ;

G·J·斯科特 ;

A·库玛 .

中国专利 :CN103650118A ,2014-03-19

[5]

蜂窝形状等离子体自由基清洗系统 [P].

王守国 ;

韩传宇 ;

赵玲利 ;

张朝前 .

中国专利 :CN102310063A ,2012-01-11

[6]

等离子体源组件 [P].

A·K·萨布莱曼尼 ;

K·甘加基德加 ;

A·乔杜里 ;

J·C·福斯特 ;

N·南塔瓦拉努 ;

K·贝拉 ;

P·A·克劳斯 ;

F·豪斯曼 .

中国专利 :CN107338423A ,2017-11-10

[7]

等离子体源 [P].

酒井滋树 ;

高桥正人 .

中国专利 :CN1269692A ,2000-10-11

[8]

等离子体源 [P].

藤田秀树 ;

糸井骏 .

中国专利 :CN109119314A ,2019-01-01

[9]

等离子体源 [P].

S·克拉斯尼特泽 ;

J·哈格曼恩 .

中国专利 :CN105144338A ,2015-12-09

[10]

等离子体源 [P].

井内裕 ;

谷井正博 .

中国专利 :CN103779155B ,2014-05-07

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