等离子体源-自由基源自由切换的腔体及工艺

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411795520.6

申请日：

2024-12-06

公开(公告)号：

CN119811973A

公开(公告)日：

2025-04-11

发明(设计)人：

杨平

申请人：

上海稷以科技有限公司

申请人地址：

200241 上海市闵行区东川路555号戊楼4026室

IPC主分类号：

H01J37/32

IPC分类号：

H01L21/67 C23C16/505

代理机构：

上海邦德专利代理事务所(普通合伙) 31312

代理人：

孟丽娜

法律状态：

公开

国省代码：

上海市市辖区

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-04-11	公开	公开
2025-04-29	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01J 37/32申请日:20241206

共 50 条

[1]

横向等离子体/自由基源 [P].

A·K·萨布莱曼尼 ;

K·甘加基德加 ;

A·乔杜里 ;

J·C·福斯特 ;

N·南塔瓦拉努 ;

K·贝拉 ;

P·A·克劳斯 ;

F·豪斯曼 .

中国专利 :CN106783499B ,2017-05-31

[2]

含有等离子体的自由基源 [P].

巴顿·莱恩 ;

彼得·文特泽克 .

日本专利 :CN112154528B ,2024-10-29

[3]

含有等离子体的自由基源 [P].

巴顿·莱恩 ;

彼得·文特泽克 .

中国专利 :CN112154528A ,2020-12-29

[4]

电感耦合等离子体（ICP）反应器的动态离子自由基筛与离子自由基孔 [P].

S·辛格 ;

G·J·斯科特 ;

A·库玛 .

中国专利 :CN103650118A ,2014-03-19

[5]

蜂窝形状等离子体自由基清洗系统 [P].

王守国 ;

韩传宇 ;

赵玲利 ;

张朝前 .

中国专利 :CN102310063A ,2012-01-11

[6]

用于监测等离子体自由基物质通量的方法及系统 [P].

马丁·希尔金 ;

托宾·卡芙曼-奥斯本 ;

赵润镒 .

美国专利 :CN121002633A ,2025-11-21

[7]

用于产生等离子体和羟基自由基的灭菌设备 [P].

C·P·汉考克 ;

G·乌尔里克 ;

D·E·韦伯 ;

L·特纳 ;

乔治·霍格金斯 ;

S·普雷斯顿 ;

西蒙·梅多克罗夫特 .

中国专利 :CN115461089A ,2022-12-09

[8]

用于产生等离子体和羟基自由基的灭菌设备 [P].

C·P·汉考克 ;

G·C·乌尔里克 ;

D·E·韦伯 .

中国专利 :CN115666663A ,2023-01-31

[9]

远等离子体室清理中的自由基引发剂 [P].

齐宾 .

中国专利 :CN1891856A ,2007-01-10

[10]

用于产生等离子体和羟基自由基的灭菌设备 [P].

C·汉考克 ;

L·特纳 ;

S·普雷斯顿 ;

西蒙·梅多克罗夫特 .

中国专利 :CN115461090A ,2022-12-09

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